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* 静电知识资料 2010-06-10 目 录 一、静电的定义、特点及不同类型的电 二、静电的产生 三、静电效应 四、静电对微电子制造业的危害 五、静电放电对器件的损伤实效模式 六、静电放电敏感器件的损伤原理 七、人体静电与人体用品 八、静电防护 九、静电系统 1、静电的定义 一种处于相对稳定状态的电荷。 2、静电具有的特点 （1）电子工业生产中，产生的静电具有高电位、小电量、对地分布电容小、泄露与放电时间短的特点。设备、生产环境或人体上的静电电位可达几千伏以上，瞬间放电的峰值能量可达几百瓦以上，峰值电流达几至十几安培，足以造成微电子器件（组件）的损坏。 （2）静电较之流动电流受环境条件，特别是湿度的影响比较大。静电测量时复现性差、瞬态变化多。 3）不同类型的电 ①处于稳定状态不产生流动的电荷称为静电。 ②在导体中，电荷随着外施恒定不变的电场，做定向运动形成的 电流称为直流电。 ③在导体中，电荷随着外施周期性方向变化的电场，做周期性方 向变化的运动形成的电流成为交流电。 一、静电的定义、特点及不同类型的电 二、静电的产生 静电产生可分为固体起电、粉尘起电和液体起电。 （一）固体接触摩擦分离起电 1、定义：两个物体互相摩擦后分别带有等值异号电荷的过程。互相接触摩擦的物体，在接触前卫带有过剩的电荷，是中性的；互相接触摩擦后所获得得电荷密度相等，但所带电荷的极性相反。 （1）导电金属之间的摩擦：导电金属之间摩擦会在两表面产生的偶电层形成电位差。当两物体要分离时，导体电荷可以自由移动，两界面极性不同的电荷在电场力影响下瞬间发生中和，使分离时之间的点位降低许多，这就是导体摩擦起电很小的原因。 （2）导体和绝缘体、两绝缘体之间的摩擦：因绝缘体的界面形成偶电层分离时，由于电荷是束缚电荷，很难中和，所以分离后电位很高。 2、摩擦类型 A B A B A B 接触电荷形成 偶电层形成 电荷分离 摩擦起电的过程 静电在我们生活、工作中并不陌生，时常遇到和接触过，特别是在秋冬干燥的季节里，人与人接触时会放电，人与线体接触时会被“麻电”，有触电的感觉。以前大家有穿化纤衣服，脱衣服时听到“啪啪”响，晚上还可看到火花。这些现象都是静电引起。我们知道，产生“啪啪”响声时放电需要大于2KV，“麻电”感觉大于3KV，产生火花大于5KV。 二、静电的产生 例子 摩擦 带电 物质 Positive(正): 石棉 ← Acetape ← 玻璃 ← 头发 ← 尼龙 ← 羊绒 ← 丝绸← 纸 (中性0) (中性0)棉 → 木材 → 蜡 → Nikel → 丙烯 → 聚脂 → PVC → 橡胶 : Negative(负) 二、静电的产生 3、固体的带电形式 （1）断裂带电。材料因机械破裂时带电粒子分开，断裂后的两段各带等量异种电荷。 （2）压电效应起电。某些材料在机械力的作用下产生电荷效应，即压电效应。如石英在1×10 N/m 的压力下，承受压力的两个表面出现正负电荷，产生约0.5V的电压。 （3）热电效应。若对热电偶加热，则一端带正电，另一端带负电。 冷端与加热端所带电量符号相反，这种现象称为热电现象。 （4）剥离起电。当相互密切结合的物体剥离时，会引起电荷的分离，引起分离物体双方带电的现象，称为剥离带电。 （5）电解起电。固体与液体（电解质溶液）接触时，由于固体离子向溶液扩散，在固体与电解质溶液的界面上就有电流流过。 （二）粉体起电 粉体起电是由于粉尘与器壁、粉体与粉体间相互碰撞、接触分离、摩擦、破碎而引起的。颗粒越小，相互作用越强烈，碰撞面积越大，起电就愈强烈。 （三）液体起电 液体起电分液体的偶电层起电和流动带电。 综上所述，物体摩擦和剥离起电是电子工业环境中最常见的起电方式。 剥离 静电起因 解说 摩擦 三、静电效应 1、静电荷产生的电场力 物体产生静电后,在其周围形成静电场。位于静电场中的任何其他带电物体都会受到电场力的排斥或吸引。试验表明，一般绝缘体或电介质产生静电后，对质量为几毫克的毛发、纸片、尘埃、纤维的吸附作用非常的明显。 2、静电放电（ESD） 当某些电介质、导体带上静电后，尽管多带电荷量不多，但由于自身对大地分布电容非常小，使得静电电位较高。对于人体静电放电，通过实验可得知，最小放电电量也可以达到1×10 J(焦耳)以上，瞬间的放电电流峰值可以达几安培以上，而设备的金属导体瞬间静电放电电流峰值可达几十安培。 3、静电电场感应 当导体和电介质置于静电场中，会在其上感应出正和负的静电荷。在电子工业生产中，可因人体静电、高电压设备，也可因设备仪器外壳、操作系统接地不良等而使元器件金属部位感应带电。 －4 三、静电效应 按S