机床定位和测量系统.docxVIP

研究生课程论文 浅谈定位与测量系统 学 生 姓 名孙昭专 业机械设计及理论学 号S110300405指 导 教 师王彤宇学 院机电工程学院 摘要 随着微电子机械系统及精密与超精密加工技术的快速发展，高效完善的定位与测量系统对于检验校准机床传动误差、精度及保证零件加工精度至关重要。随着高精密加工技术的不断发展，人们对机床的加工精度提出了越来越高的要求而机床的定位精度是影响其加工精度的主要因素之一，所以如何方便实用的提高机床的定位精度成为现在各个方面都在研究的重要课题特别是对于开环和半闭环数控系统，由于开环环节的存在，使得定位精度的进一步提高受到了限制对于这类机床其定位精度主要取决于电机的控制精度与进给丝杠的加工精度，以及受导轨副和丝杠副的摩擦和热变形等因素的影响本研究课题主要从螺距丝杠累积误差的动态测量与补偿这个角度来提高数控机床的定位精度，从而满足人们对数控机床越来越高的加工精度要求；本文首先主要介绍了常见的定位与测量系统及其工作原理，然后综合分析了目前定位测量系统关键技术的发展现状，最后介绍了激光干涉仪与光栅尺定位测量系统的产品市场状况。 关键词：定位精度 定位与测量 激光干涉仪 光栅尺 第1章 常见的定位与测量系统及工作原理 1.1光栅尺位移定位测量系统 在高精度的数控机床上，可以使用光栅作为位置检测装置