AuNiCu多层薄膜热带海洋气候腐蚀失效机制研究.pdfVIP

第43卷 第6期 表面技术 2014年 12月 SURFACE rECHNOLOGY ·43 · Au／Ni／Cu多层薄膜热带海洋气候腐蚀失效机制研究 李云双 ，曹江利 ，姚文清 ，严楷 ，陈拥军 (1．北京科技大学 新材料技术研究院，北京 100083；2．清华大学 化学系，北京 100084； 3．海南大学 材料与化工学院，海口570228) 摘 要：目的 了解Au／Ni／Cu多层金属薄膜在热带海洋气候下的失效机制，为研究电子元器件表面腐 蚀失效的早期预警提供参考。方法 采用磁控溅射法在P型单晶si(1OO)基片上沉积 Au／Ni／Cu薄膜， 在热带海洋气候环境下进行时效实验，采用原子力显微镜及俄歇电子能谱对薄膜失效表面与界面结构微 观变化进行研究。结果 时效实验初期，Au／Ni／Cu薄膜表面发生了Au原子聚集，形成了不再连续的岛 状结构，岛与岛之间产生了表面微裂纹。随着时效时间的延长，表面形成腐蚀洞，腐蚀