CdS薄膜的制备、结构和光致发光性能.pdfVIP

加工、澳jI量与设备 Processing，MeasurementandEquipment CdS薄膜的制备、结构和光致发光性能 王军超 ，朱燕艳 (上海电力学院，上海 200090) 摘要：CdS薄膜是一种 n型半导体材料，用于cdTe多晶薄膜太阳电池的窗口层，其质量直接影 响太阳电池的光电转换效率和寿命。用磁控溅射法制备 了CdS薄膜，通过对薄膜进行 x射线衍 射 (XRD)、扫描 电子显微镜 (SEM)、光致发光和紫外 一可见光谱等测试 ，研究了CdS薄膜的 制备工艺对薄膜结晶度、表面形貌和禁带宽度 的影响关系。研究发现，随着 CdS薄膜溅射功率 的升高，薄膜的结晶度变好，晶粒增大，薄膜增厚，光致发光峰强度增加 ，禁带宽度减小；随着 溅射气压减小，薄膜厚度增大，光致发光峰强度减小，禁带宽度减小。 关键词：CdS薄膜；X射线衍射 (XRD)；光致发光；磁控溅射法；太阳电池 中图分类号 ：0484 文献标识码 ：A 文章编号：1671—4776 (2014)05—0324一()4 Pr