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- 2017-08-20 发布于湖北
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CVD金刚石薄膜表面抛光技术的研究.pdf
2008 年 2 月 航 空精密制造技术 Feb . 200 8
第 44 卷 第 1 期 AVIATION PRECISION MANUFACTUR ING TECHNOLOGY Vol. 44 No. 1
CVD 金 刚 石 薄 膜 表 面 抛 光 技 术 的 研 究 *
1,2 2 2
张克华 , 文东辉 , 袁 巨龙
( 1.浙江 师范大学交通 学院, 金华 32 1014
2.浙江工业大 学机械 制造及 自动化 教育部重 点实验室, 杭州 310032)
[摘 要] 对 CVD 金 刚石膜的离子束铣 削、电子束加工 、激 光加 工、化
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