AgZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和光电性能.pdfVIP

第 3 9 卷 增刊 2 稀有金属材料与工程 Vol.39 , Suppl .2 2010 年 8 月 RARE ME TAL MATERIALS AND ENG IN EERING Au gust 2 010 Ag/ZnO 薄 膜 的 溶 胶 -凝 胶 法 制 备 和 光 电 性 能 陈志君 ，赵高凌，任潇潇，韩高荣 (浙江大学 硅材料 国家重点实验室 ，浙江 杭州 31002 ) 摘 要 ：以醋酸锌为锌源 ，硝酸银为银源 ，用溶胶-凝胶法制备银掺杂 的氧化锌纳米薄膜 。研究不 同热处理温度和不 同 银掺杂量对薄膜结构和性能的影响。用 X 射线衍射仪和场发射扫描 电镜对其物相 、结构和形貌进行表征 ，用紫外-可见 光谱法对其光学性能进行测试 。结果表 明，在薄膜经过 50 0 ℃热处理后 ，银 以银单质的形式存在 ，氧化锌颗粒尺寸随 银含量 的提高而减小 。而