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- 2017-08-20 发布于湖北
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MgOAu复合薄膜的反应射频磁控溅射法制备及表面形貌研究.pdf
真 空 科 学 与 技 术 学 报 第34卷 第 8期
842 C珈 ESEJ0URNAI．OFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY 2014年 8月
MgO／Au复合薄膜的反应射频磁控溅射法
制备及表面形貌研究
李 亨 胡文波 吴胜利 魏 强
(西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 西安 710049)
SynthesisandCharacterizationofMicrostructuresofMgO／AuComposite
FilmsGrownbyReactiveRFMagnetronSputtering
LiHeIlg，HuWenbo ，WuShengli，WeiQiang
(研 LaboratoryofPhysicalElectronicsandDevicesofMinist
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