快速消除维持电压微细电化学加工脉冲电源.pdfVIP

第42卷 第 9期 上 海 交 通 大 学 学 报 Vo1．42NO．9 2008年 9月 JOURNAIOFSHANGHAIJIAOTONGUNIVERSITY Sep．2008 文章编号：1006—2467(2008)09—1410—04 陕速消除维持电压微细电化学加工脉冲电源 曾伟梁 ， 王振龙 (1．哈尔滨师范大学 信息科学系，哈尔滨 150025；2．哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 150001) 摘 要：以绝缘栅型场效应管(MOSFET)作为开关元件的独立式单路微细电化学加工脉冲电源在 脉间存在维持 电压，使得微细电化学加工的散蚀增加 ，导致工件 的形状精度 降低．在分析维持 电压 存在特性的基础上，通过分析实验q-采集到的波形，对脉冲 电源进 行 改进 ，设计 了双路控制 的 MOSFET开关电路，并根据M0SFET的开关特性，采用合理的电路参数．对比实验表明，改进后 的电源快速消除了脉间维持电压，从而有效地降低 了加工过程 中的平均电压值，进而使加工表面痕 迹的形貌得到 了很大的改善 ，提 高了加工的尺寸精度和表面质量． 关键词 ：微细电化学加工；脉冲电源；维持 电压 中图分类号：TG661 文献标识码 ：A RapidlyErasingMaintainingVoltagePulsePowerSource Used inElectrochemicalMicromachining ZENG Wei—liang ～． WANG Zhen—long。 (1．DepartmentofInformationScience，HarbinNormalUniversity，Harbin 150025，China； 2．SchoolofM echatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Thesingle—channelcontrolmicro—energypulsepowersourceforelectrochemicalmicromachining (EMM )whoseswitch elementissingleMOSFET hasmaintainingvoltageintheperiodofpulseinterva1． ThisincreasesstrayerosionofEMM anddecreasesshapeprecisionofworkingpiece．Basedonanalysing the inherentcharacterofmaitaining voltageand thewavesgathered in experiments，a dualcontroling MOSFET electrocircuitwasdesignedandrationalcircuitparameterswereadopted．Itisshownthatmain— tainingvoltageiserasedrapidlyforimprovedpulsepowersourceandaveragevoltageisdecreased inthe processofmachining，moreoverdimensionpresionandsurfacequalityareimprovedgreatly． Keywords：electrochemicalmicromachining；pulsepowersource；maintainingvoltage 微机电系统 (MEMS)的发展，带动了微细加工 求 ，逐渐采用脉冲电源替代直流电源 ，而且脉冲电源 技术的发展．电化学加工是利用金属材料发生氧化 的频率也在不断提高_3“]．脉冲电源频率 的提高，脉 还原的电化学过程来去除材料或增加材料，由于加 冲周期的减小 ，使得短暂的脉冲间隙不足以让电解 工过程是以离子单位方式进行 的，所 以在微细加工