相移Rugate薄膜空间滤波器的设计.pdfVIP

第 41卷 第 1o期 中 国 激 光 Vo1．4l，N0．10 2014年 10月 CHINESEJOURNALOFLASERS 0ctober。2O14 相移 Rugate薄膜空问滤波器的设计 章 瑛 易 葵 齐红基 邵建达 ／中国科学院上海光学精密机械研究所 ，上海 201800、 ＼ 中国科学 院大学 ，北京 100049 ／ 摘要 介绍 了相移 Rugate薄膜空间滤波器的基本结构和原理 ，设计 了相移 Rugate薄膜滤波器 ，根据实际制备 的 条件进行 了误差分析 ，给出了制备技术需要达到的精度和所需要的薄膜材料 的消光系数 ，计算了相应 的损耗 ，并分 析 了空 间滤波器 内部 的电场分布 。 关键词 薄膜 ；相移 ；空 间滤波器 ；消光系数 中图分类号 0484 文献标识码 A doi：10．3788／CJL2O1441．100700l Design ofPhase-ShiftedRugateThinFilm SpatialFilter ZhangYing · YiKui QiHongji ShaoJianda ／ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics，ChineseAcademyofScience，Shanghai2O1800，China、 ＼ UnversityofChineseAcademyofSciences，Being100049，eina Abstract Thebasicstructureandprinciplesofphase—shiftRugatethinspatialfilterispresented．Thephase—shifted Rugatefilm filter isdesigned and the erroranalysis isprepared in accordance with the actualconditions． The corresponding lossand extinction coefficientand the preparation of technicalprecision are discussed to achieve excellentperformanceforthepreparation ofthethin film．Thecorresponding lossand internalelectricfieldofthe phase—shiftRugatefilm filteriscalculated． Keywords thinfilm ；phase．shifted；spatialfilter；extinctioncoefficient OCIScodes 310．6845：050．5080：290．2200 1 引 言 光束 聚焦到针孔时，容易导致材料出现热致损坏 ]； 空间滤波器是大型高功率激光系统 中必不可少 3)透镜焦距较长 ，所 占空间较大 ，不利于系统的紧 的光学器件之一 ，具有滤除傅里叶频谱 中的高频分 凑化ll7]。透镜与针孔 的组合 ，起到 了限制提升激 量 、有效改善光束质量等作用 ]。按是否对光束 光器输出功率水平的瓶颈作用。在空间低通滤波器 进行聚焦 ，空间滤波器可分 为聚焦型和非 聚焦 型。 中避免使用透镜 ，是克服针孔滤波技术上述缺点的 其中，聚焦型中最为典型的结构是针孔滤波器，针孔 有效措施 。 滤波器 由两片傅里叶透镜和一个针孔板组成 ，针孔 相 比聚焦型结构 ，非聚焦型滤波器的特点是无 位于两透镜的