采用能谱仪对汽车零部件清洁度检测的解决方案.pdfVIP

牛津仪器 发布采用能谱仪对汽车零部件清洁度检 测的解决方案 摘 要：由汽车的汽缸头中取样并经过反复水洗清洁，残留物经真空过滤装置沉 积至滤纸上，烘干后放入扫描电镜中。本文用牛津仪器能谱仪INCAFeature 系 统对污染物做自动检测并获得相应清洁度代码。 关键词：汽车清洁度； 能谱仪； 清洁度； 1 介绍 随着汽车制造技术的蓬勃发展，市场对汽车的安全性及长时间运行的可靠性 越来越受关注。为了提高引擎质量及其组件的工作效率，汽车的各部件中污染物 数量及种类的控制要求也越来越高。最新的行业标准ISO16232 顺应而生，该标 准严格规定汽车组件中颗粒污染物的级别，以及液压传感器中污染物的级别。颗 粒状污染物由滤纸过滤后使用光学显微镜或配有能谱仪（EDS）的扫描电子显微 镜（SEM ）检测。使用SEM-EDS 检测污染物不仅可以获得污染物的尺寸、形 貌等信息，还可以获得它的成分信息。通过颗粒物成分分布很容易溯本逐源找到 污染物出现的原因。另外，在高倍扫描电镜检测下，还可以分辨出亚微米级污染 物的分布。 标准ISO16232 规定使用清洁度代码（CC ）来表征清洁度级别，该级别通 2 3 常由组件最外表面1000cm 的区域或深度为100cm 区域决定。 由汽车的汽缸头中取样并经过反复水洗清洁，残留物经真空过滤装置沉积至 滤纸上，烘干后放入扫描电镜中，本文将详述如何使用INCAFeature 系统对污 染物做自动检测并获得相应清洁度代码。 牛津仪器 2 分析方法 INCAFeature 自动将待测样品等分为多个面积相等的矩形视场，视场的范围 与最小检测颗粒尺寸或放大倍数有关。检测过程中，系统自动控制样品台逐个移 动到每个视场上依次进行数据采集。INCAFeature 使用独一无二的二次检测颗粒 方式，有效提高检测速度及精度。第一次快速扫描识别颗粒。图一中使用图像的 灰度阈值设置区分黑色背底上明亮的颗粒。第二次慢速仅扫描识别出的颗粒，此 步骤可以准确定位颗粒位置及颗粒形貌信息，最后获得每个颗粒的X-射线能谱。 (b) (c) (a) 图1 单一视场中颗粒检测 (a) BSE 衬度图，显示滤纸呈黑色并突显其上原子序数更高的颗粒衬度 更亮 (b) 待检测颗粒，通过设置感兴趣颗粒灰度范围，以红色标识出此灰度 范围的颗粒 (c) 使用INCAFeature 检测此灰度范围的颗粒 3 石墨定量及分类 INCAx-sight/x-stream 处理器的稳定性足够支持INCAFeature 自动识别每个颗 粒的元素种类并保证获得准确的定量含量。且支持选择剥离元素及蒸镀元素，有 效去除基体及镀层对污染物颗粒检测的干扰。分类方法可以基于颗粒化学成分、 形貌或二者兼顾来区分不同颗粒类别。检测过程中，可以自动识别并分类，且支 持脱机二次重新分类。 4 结果 牛津仪器 INCAFeature 数据处理工具可以获得包括单个颗粒的形貌及成分的详细信息 以及大量颗粒整体的分类及统计信息。 表1 显示汽缸头的污染物颗粒统计信息。颗粒主要以化学成分差异分类，并 且将同类型颗粒以级别形式区分，多种颗粒均被分为金属级（metals）、氧化物 级（oxides ）、残留物级（residual）及腐蚀物级（salt ）。 表1 污染物颗粒统计表 分类 级别 颗粒数 % 总计数 颗粒面积 % 总面积 (sq. µm) Plain steel Metals 85 10.1 3