晶体硅太阳能电池烧结匹配性研究.pdf.docVIP

电子工艺技术 2013年1月 第34卷第1期 Electronics Process Technology 47 ·新工艺·新技术· 晶体硅太阳能电池烧结匹配性研究 杨达伟，高华，杨乐 （上海超日太阳能科技股份有限公司，上海201406） 摘　要：良好的烧结能够极大地提升太阳能电池的转换效率。通过理论分析太阳能电池烧结后各参数的变 化情况，预测烧结的状态以及烧结的调节方向，进而通过实验来验证理论分析，从而得到工业生产中晶硅电池 烧结匹配优化方法。通过不断对烧结的优化，从而达到了改善烧结效果，提升电池片功率的目的。 关键词：烧结；串联电阻；接触电阻；烧结匹配 中国分类号：TM914 文献标识码：Ａ 文章编号：1001-3474（2013）01-0047-04 Research on Matching of Sintering Process of Crystalline Silicon Solar Cells YANG Da-wei, GAO Hua, YANG Le (Shanghai Chaori Solar Energy Science Technology Co., Ltd., Shanghai 201406, China) Abstract: Good sintering can enhance the conversion efficiency of solar cells. Through theoretical analysis of the parameters changes of the solar cell after sintering, and predict the state of the sintering and sintering direction of regulation, and then by doing experiments to verify the theoretical analysis, result in matching optimization method of the industrial production of crystalline silicon cells sintering. Through continuous optimization of the sintering, achieve the purpose of improving sintering effect, and enhance the conversion efficiency of solar cells. Key Words: Sintering; Series resistance; Contact resistance; Sintering match Document Code: A Article ID: 1001-3474 (2013) 01-0047-04  丝网印刷和快速烧结由于其生产相对方便和迅 速高效，是当今工业生产太阳能电池大规模应用的 一种成熟工艺[1-7] 烧结的目的就是为了把印刷到硅片上的电极 在高温下烧结与硅片形成良好的欧姆接触，从而更 好地收集电池片表面由于光生伏特效应所产生的电 流。电池片常规的生产工艺流程为：表面预清洗→化 学腐蚀制作绒面→扩散制结→等离子体刻蚀去边→ 去磷硅玻璃→镀减反射膜→丝网印刷→烧结→性能测 试，其中烧结为电池片生产的核心环节之一。烧结的 好坏直接影响电池片的几项重要参数：串联电阻、 并联电阻和填充因子，从而决定了电池片的好坏。 由于很多厂家所用的设备以及工艺条件的不同，以  及印刷浆料的不断更新，每个厂家都需要根据自身 的实际情况，在实践中不断调整和修改，以达到更 好的工艺匹配。 本文通过理论分析串联电阻、并联 电阻以及填充因子对于烧结效果的判断，并以实验 来验证这些判断指标，进而得到各参数与烧结温度 的相互关系。这对于工业生产过程中的烧结匹配性 调节有一定的指导意义。 1 烧结原理 烧结原理就是当金属材料和晶硅加热到共晶的 温度时，晶硅的原子会以一定的比例扩散到金属当 中，而扩散的晶硅原子的数量取决于金属的温度以 及金属体积[8]。而此时的晶硅原子融入金属的状态就  作者简介：杨达伟（1987-），男，毕业于华东理工大学，研究方向为晶体硅太阳电池。 基金项目：国家863项目（项目编号：2011AA050502）。  电子工艺技术 48 Electronics Process Technology 2013年1月  被称之为合金系统[9]。此后降低温度，融入到金属中 的硅原子会重新以固态的形式结晶出来，这样就在 金属和晶硅之间便形成了一层外延层。如果这个外 延层含有与原先晶体相同类