闪耀光栅数字微镜的设计与模拟仿真.pdfVIP

闪耀光栅数字微镜的结构设计与模拟仿真 引言 基于MEMS制造技术的闪耀光栅数字微镜显示技术是一种全新的显示技术, 它的基本工作原理为：平行的 复合白色光线以固定的入射角照射在闪耀光栅微镜阵列上，驱动电路驱动每个像素单元的闪耀光栅微镜偏转不 同角度，在特定的衍射方向上得到的R 、G、B 以及不可见波长的光线经过成像镜头后形成彩色画面。 微镜结构设的计基本要求 闪耀光栅数字微镜显示技术的核心部件是闪耀光栅数字微镜。要达到便携应用和投影应用的目的，闪耀光 栅数字微镜结构设计需满足以下基本要求。 1、尽可能减小显示单元的尺寸 为了得到准确的基色，要求入射的复合白色光线在微镜总像素尺度范围内保持平行，否则，由于入射光线 的角度偏差，将导致画面色彩的偏离。当微镜总像素尺度较小时，容易得到理想的、具有较强亮度的平行照射 光线。若增加像素单元尺寸，需要更大面积的平行强光，这无疑会增加光源系统的功率和制造成本。 2 、尽可能提高像素的填充率 闪耀光栅数字微镜的填充率主要取决于像素间距，而像素间距的大小又与驱动方式有关。在MEMS 系统中， 最为高效的驱动方式为静电驱动。通过在两块板上施加电压，可以在板间形成静电场，两片板间的静电力由以 下公式计算。 1 ε ε WLV 2 F r 0 d 2 d 2 式中，ε 为相对介电常数，ε 为自由空间介电常数，W 是电极板的宽，L 是电极板长，d 是电极板间的距 r 0 离，V 为施加于电极板之间的电压，F 是垂直于电极板的静电力。 d 从以上公式可知，静电力的大小与电极板之间的距离平方成反比，与电极板的面积成正比，降低板间距离 和增加电极板面积都能增加静电力。梳状电极是增加面积的常用方式，在单镜以及扫描镜成像方式中，梳状致 动器被广泛采用。通常，梳状致动器需耗用较大硅面积，对于像素阵列而言，这将极大降低填充率，无法形成 可以接受的显示画面。提高静电力的更好办法是尽可能降低电极板之间的距离。 3、采用尽可能低的驱动电压 从静电力公式还可以看到，静电力的大小与驱动电压的平方成正比。提高驱动电压可以有效地提高静电力。 对于便携应用，电源通常是锂电池，输出电压多为十伏以内。这就要求微镜的驱动电压也必须与之相适应，基 于固定应用的220V 电压驱动电压显然不适合用于移动应用中。 4 、确定的几何结构参数要确保微镜具有足够的强度和寿命 与GLV 通过光栅节距的变化来实现光线的空间调制不同，闪耀光栅微镜是通过微镜的偏转，使入射光线的 入射角发生变化来实现光线的空间调制。微镜的偏转主要有变形、移动、活塞和扭转等方式。变形、移动和活 塞方式通常利用材料的变形来产生，例如，在压电或聚合材料上施加电压时，能使这些材料产生较大尺度的变 形，经过运动机构的作用，使材料变形转变为镜面的转动。在以上方式中，扭转轴方式以响应速度快、黏结性 低、无磨损的优点被广泛采用。扭转微镜结构设计时要考虑的主要内容是要能够用尽可能低的驱动电压达到所 需偏转角度的同时，还需保证特定材料的几何结构能通过剪切应力的校核。 根据材料力学，矩形截面扭转轴的扭转角由以下公式确定： TL φ GJ 式中，T 为电极板产生的静电力引起的对于扭转轴的扭矩，L 为扭转轴支点到扭转轴镜面连接点的长度，G 为扭转轴所用材料的剪切弹性模量，J 为矩形截面扭转轴的极惯性矩。矩形截面扭转轴的极惯性矩 J 由以下公 式确定。 ab(a2 +b2 ) J 12 式中，a,b 分别是扭转轴矩形截面的高和宽 从扭转角公式可以看到，扭转轴的扭转角度取决于材料的剪切弹性摸量、扭转轴长度、材质特性以及施加 的力矩。