三明治结构大量程MEMS惯性伺服加速度计研究的论文.pdfVIP

三明治结构大量程MEMS惯性 伺服加速度计研究 陈宇晚 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 摘 计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析，对加速度计各参数对量程的本质 影响及其相互关系进行了研究．理论分析和计算机仿真结果表明：根据给出的四梁中心悬臂结构，在典 型结构参数下，惯性敏感单元可承受的最大横向加速度迭20009以上，采取质量块减薄和打孔并用的方 法可以保证加速度计具有709阻上量程． 关键词：微机械加速度计；四梁中心悬臂结构；稳定性；量程；参数 引言 MEMS加速度计具有传统加速度计无可比拟的优点“1，如微小型化和多功能化，是惯性导航加速度计 的发展方向，也是未来惯导系统的核心部件。近十年来发展最成熟和最具吸引力的是三明治结构MEMS加 速度计”1．其惯性敏感单元由三层结构组成：上电极(定电极)、敏感质量(动电极，亦称检测质量)和 量块可动，因此敏感单元的三层结构构成上下两个差动电容。 根据闭环伺服原理，在一给定加速度日下，敏感质量位移△z十分微小，这样可保证加速度计具有较 角度过大时，质量块(动极扳)接触到极性相反的定极扳．会吸附在一起，出现“锁死”现象，即所谓 的“吸附效应”伽。另外，为提高量程要增大外置偏压‰当K达到某一临界值时t质量块转动角度将 产生突变直至无穷大．也会导致加速度计无法正常工作。因此本文对影响加速度计稳定性和量程的主要 参数及其相互关系进行了详细分析，有针对性地提出一种具有良好抗横向加速度干扰能力和大量程的四 粱中心悬臂结构，并进行计算机仿真验证。 ．一、影响微加速度计稳定性的主要因素 1．1纵向和横向加速度作用下敏感质量的运动 实际情况下，一般仅考虑一个方向的横向加速度(另一方向加速度影响的分析类似)。如图l示，当 纵向(敏感轴方向)加速度品和横向加速度品联合作用于惯性传感器时，敏感质量发生纵向平移△z和 横向绕，轴转动角度口，，而加至差动电容的电压‰，和K甜(由直流反馈电压瞻和差分偏压士K决定)分 别形成上下两个静电场，所产生的纵向静电吸引力和横向静电力矩决定于上下电容电压和电极问距。 ．h 图1纵向和横向加速度作用下敏感质量的运动 当质量块发生纵向平移和横向转动时，上下电饭与中间电极(质量块)的距离也发生变化，由此导 致总静电力和静电力矩产生改变。根据动力学原理，所有作用于敏感质量的惯性力、弹簧力和静电力都 402 处于动态平衡状态，因而此时描述质量块纵向和横向运动的微分方程为： 吖誊幔警虹慨幔御峨蛔 ㈤ 一 l，每喝等％ey-岬洲蝴，+Mc加” 式中，Ⅳ为敏感质量，‘为电极和质量块之问的空气阻尼，正为纵向结构刚度(悬臂粱的弹性系数)， ‘为转动惯量．‘为转动阻尼因子，墨为转动刚度(由悬臂粱结构确定)。Z为质心距(敏感质量重心与 悬臂粱刚性支撑点的垂直距离)。式(1)表明．横向加速度给动态方程引入了交叉耦合因素，这是由于 静电力和力矩不仅决定于质量块纵向位移，也依赖于横向转动角度。 1．2外置偏压对加速度计稳定性的影响 当横向加速度函作用于传感器时．质量块在外加力矩和静电力矩的共同作用下发生转动，当转 动角度口，过大时，不管足开环还是闭环工作状态，都会产生吸附效应，出现不稳定状况。从式(】)很 容易导出横向转动的静态方程为(d29，／出z=d9，，出；0)： Kyq=MaJzn+．|I，^印，y+村^蛔．y (2) 经过一系列数学推导．根据闭环伺服原理，质量块的纵向位移△z“d。，因此对极板间隙的影响可 忽略不计．同时忽略高阶项的影响，据式(2)可解出J向和z向加速度共同作用下质量块的转动角度为：