微波集成电路技术_回顾与展望.pdfVIP

16 卷 3 期 微　波　学　报 V o l. 16 N o. 3 2000 年 9 月　　　　　　　　　　JOU RN AL O F M ICROW AV E S　　　　　　　　　　　　Sep. 2000 微波集成电路技术—回顾与展望 M icrowave In tegra ted C ircu it Techn ology — Retrospect an d Prospect　 顾墨琳　林守远 (南京电子技术研究所, 南京 2 100 13) GU M ol in , L IN Shouyuan ( , 2 100 13) N anj ing R esea rch I ns titu te of E lec tron ics T echnology N anj ing 【摘要】　半个多世纪来, 微波电路技术经历了从分立电路、两维微波集成电路、三维微波集成 电路等阶段。在回顾这一发展历程后, 介绍多层微波集成电路和三维微波集成电路。阐述其产生背 景、关键技术及发展方向。文中将涉及微加工技术以及从直流至射频的多芯片全集成新概念。瞻望 二十一世纪前景。 关键词: 　单片微波集成电路, 多层微波集成电路, 三维微波集成电路, 微加工, 多芯片模块 Abstract: 　O ver th e p a st h a lf cen tu ry m icrow ave circu it s evo lved from d iscrete circu it s to , . p lan ar in tegrated circu it s th en to m u lt ilayer an d th ree d im en sion a l in tegrated circu it s A fter a b r ief rev iew o f th e evo lu t ion p roce ss, m u lt ilayer m icrow ave in tegrated circu it s ( in clu d ing M u ) 3 ( 3 ) . MM IC an d D m icrow ave in tegrated circu it s in clu d ing DMM IC are in t rodu ced T h e b ack groun d, k ey techno logy an d deve lopm en t s are illum in ated. T h e con cep t s o f m icrom ach in ing an d ( ) . M u lt i Ch ip M odu le M CM in tegrated fr