光电传感器应用技术 教学课件 作者 王庆有 第8章 第3节.ppt

8.5.2 双沟道线阵CCD图像传感器 3. TCDl251D驱动电路 5. TCD1251D的特性参数 8.5.3 线阵CCD类型与发展 思考题与习题8 * 由两个转移沟道构成的线阵CCD称为双沟道线阵CCD，TCD1251D器件为典型性的双沟道CCD器件，该器件广泛应用于物体外形尺寸的非接触自动测量领域，是一种较为理想的一维光电探测器件。 1. TCD1251D的基本结构 如图8-25所示为TCD1251D器件的原理结构图。它由2752个pn结光电二极管构成光敏单元阵列，其中前27个和后11个是用作暗电流检测而被遮蔽的pn结，图中用符号Di(i=13,14,15…)表示；中间的2700个光电二极管为光像敏单元，图中用Si(i=1,2,3…)表示。每个光敏单元的尺寸为11μm长、11μm高，中心距亦为11μm，光敏元阵列总长为29.7mm。光敏单元阵列的两侧是用作存储光生电荷的MOS电容存储栅极。 1、基本结构 2. TCD1251D的工作原理 TCD1251D在如图8-26所示的驱动脉冲作用下工作 。 TCDl251D的驱动电路如图8-27所示。由如图8-23所示的驱动脉冲发生器产生的转移脉冲、驱动脉冲、和复位脉冲等四路驱动脉冲经反向器74HC04P反向后加到TCD1251D的相应管脚上。该器件将输出OS信号与DOS信号。其中OS信号含有效光电信号，DOS输出为补偿信号。 4. TCDl251D的特点与特性 （1）驱动简便 在TCD1251D器件的内部设置有电平转换驱动电路，只要提供0.3V~5V的驱动脉冲器件就可以正常工作，极大地方便了用户。 （2）灵敏度高 TCD1251D的光电灵敏度为35V/lx.s，它的饱和曝光量为0.05lx.s，动态范围为3800，属于高灵敏高动态范围的器件。 （3）光谱响应 如图8-28所示TCD1251D的光谱响应曲线。其峰值响应波长λm为550nm，与人眼的光谱响应峰值波长很接近；长波截止波长为1100nm，在近红外区有较好的响应；短波截止波长可延长到紫外谱区，接近250nm。光谱响应范围宽是它的另一个特点。该器件在整个可见光谱区的响应高于70%，是比较理想的光谱探测器件。另外，它像敏单元尺寸小（11μm×11μm）分辨率高，又是性能优良的尺寸检测探测器件。 （4）温度特性 TCD1251D的温度特性如图8-29所示。当环境温度由零度增长到60℃时，由于它能够分别从OS和DOS端输出光敏单元信号和暗电流信号，而且尽管这两个信号都随温度变化，但是，它们随温度变化的规律是相同的，又相当于在同温槽内。因此，它们的差分信号对温度变化的影响会被差分放大器抑制共模干扰特性所抵消，而不明显。 它的像敏单元的不均匀性参数不如单沟道器件TCD1209D，因为双沟道器件的信号分别通过两个移位寄存器沟道输出，这两个沟道的转移特性的差异会造成输出信号的奇偶性，必然影响器件像敏单元的不均匀性参数。 不同领域中应用的特殊需要向人们提出了设计不同类型器件的要求，现在已经生产出许多供不同应用领域应用的多种线阵CCD图像传感器。 1、光谱探测类型线阵CCD 光谱探测与分析需要的线阵CCD应具有光谱响应范围宽、动态范围广、像敏单元不均匀性好等特点。S3922、S3923、RL1024SB等器件，它们普遍具有像敏单元尺寸大（500μm×50μm）的特点，像敏单元尺寸的增大不仅增大了接收光辐射的面积，提高响应度而且增大了电荷存储的容量，使动态范围大幅度地得到提高。 2、高分辨率的非接触尺寸检测 工业应用中非接触尺寸检测是非常普遍的课题，为提高测量精度与测量范围，常常要求线阵CCD器件的像敏单元尺寸小数量多。TCD1500C、TCD1703D、TCD1708D等器件均符合上述要求。 高速图像采集 为探测高速飞行物体的飞行姿态或测量其他高速运动体的表面质量的需要，提高线阵CCD的工作速度是关键。对于高速工作的线阵CCD，常采用“分段同步驱动”的设计思想，例如，RL188D器件为分16段并行驱动输出的1024像元线阵CCD，若每段的工作频率为40MHz，等效驱动频率为640MHz。40MHz工作频率的制造工艺不难实现，高速飞行或运动物体的检测问题也不难解决。 8.6 典型面阵CCD图像传感器 8.6.1概述 二维面阵CCD图像传感器有不同的结构与排列方式，如帧转移、隔列转移、线转移和全帧转移等方式。 (1) 帧转移面阵CCD 如图8-31所示为帧转移方式的面阵CCD图像传感器的原理结构图。 (2) 隔