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C3 光电检测技术 理学院 宋旸 3.5 激光衍射测量技术 3.5 激光衍射测量技术 激光出现后，由于它具有高亮度、相干性好等优点，使光的衍射现象在测试技术中得到了实质性应用。 1972年加拿大国家研究所的T．R．Pryer提出了激光衍射测量方法。 激光衍射测试技术是一种高准确度、小量程的精密测量技术，应用比较广泛。 3.5 激光衍射测量技术 3.5 激光衍射测量技术 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.1 激光衍射测试技术基础 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 3.5.2 激光衍射测试方法 Click to edit company slogan . ③ 分离间隙法 P1点出现暗条纹的条件为 同理 P2点出现亮条纹的条件为 1 θ1 3 2 A’1 θ2 A1 L b z A P1 xk1 xk2 P2 分离间隙法原理图 ③ 分离间隙法 对同样级次的暗点，k1=k2 ③ 分离间隙法 狭缝的两个棱边不在同一平面上导致衍射图样出现不对称。在离棱边较近的方向上条纹间距增大。 一定存在 薄膜材料表面涂层厚度测量 ：使用分离间隙法 ③ 分离间隙法 ④ 互补测量法 激光衍射互补测量法的原理是基于巴俾涅(Babinet) 定理。 两个互补衍射屏，用平面光波照射时，它们产生的衍射图形的形状和光强完全相同，仅位相差为180度，即亮条纹的位置和暗条纹的位置相反，这就是Babinet互补定理。 ④ 互补测量法 对各种细金属丝、薄带的尺寸进行高精度的非接触测量。 ⑤ 爱里斑测量法 爱里斑测量法基于圆孔的夫琅和费衍射原理。 屏上各级衍射圆环的半径 为暗纹 为亮纹 ⑤ 爱里斑测量法 在测量中应取较高级的环纹，才有利于提高准确度。 * LOGO * C3 光电检测技术 3.1 光波场参数及调制技术 3.2 光电直接检测技术 3.3 光电外差检测技术 3.4 激光干涉测试技术 3.5 激光衍射测量技术 激光衍射测量技术 5 3 光电检测技术 光波在传播过程中遇到障碍物时，会偏离原来的传播方向，绕过障碍物的边缘而进入几何阴影区，并在障碍物后的观察屏上呈现光强的不均匀分布，这种现象称为光的衍射。 惠更斯的解释（1690） 波前上的每一点都是一个次级扰动源，发出球面子波，这些子波的包络面就是新的波前 问题：不能确定光波通过障碍物后沿不同方向传播的振幅 菲涅尔的补充（1818） 所有子波来自同一波前，所以，后一时刻的波前应是所有子波相互干涉的结果—惠更斯-菲涅尔原理 S 通常把衍射现象分为二类： 1）菲涅耳衍射，光源和观察屏（或二者之一）离开衍射屏距离有限，又称为近场衍射； 2）夫琅和费衍射，光源和观察屏距离衍射屏都相当于无限远，因而又称为远场衍射。 菲涅耳衍射 夫琅和费衍射 夫琅和费衍射的计算比较简单，特别是对于简单形状孔径的衍射，通常能够以解析形式求出积分，并且夫琅和费衍射是光学仪器中最常见的衍射现象。激光衍射测量的基本原理是利用激光的夫琅和费衍射。 ① 单缝衍射 ①-1 夫琅和费衍射实验装置 b θ L1 L2 S Pθ P0 单缝夫琅和费衍射的实验装置 ① 单缝衍射 ①-2 单缝夫琅和费衍射强度分布 用振幅矢量法或衍射积分法都可以得到缝宽为b的单缝夫琅和费衍射光强分布表达式： 其中 b θ L1 L2 S Pθ P0 单缝夫琅和费衍射的实验装置 ① 单缝衍射 ①-2 单缝夫琅和费衍射强度分布 1 0.047 0.017 单缝夫琅和费衍射的相对光强分布 ① 单缝衍射 ①-3 单缝测量的基本公式 易知，衍射条纹平行于单缝方向。当 ，且k取整数时，出现一系列暗条纹。利用暗条纹作为测量指标，就可以进行计