检测真空漏孔的关键措施.docVIP

检测真空漏孔的关键措施 　检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即S=+0，式中为容器的极限压力,S为容器排气口处的有效抽气速率，和0分别为容器的漏气量和放气量。 　　漏气的判断 将系统抽到稳定的最低压力，然后将泵与系统隔开,测量系统的压力变化，并据此绘出压力-时间曲线（图1[压力－时间曲线]）。曲线a表明系统有较大的漏孔；曲线b表示系统大量放气；曲线c是a和b两种情况的综合，即同时存在放气和漏气。为使系统中存在的蒸气影响减到最小限度，测量压力应采用液氮冷阱冷却。 　　如放气量少到可以不计，则平衡式变为S=，或=/S这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。 　　检漏方法 真空检测常用的有气压检漏、氨敏纸检漏、荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和仪器检漏等多种方法。 　　漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。 /blog/?p=4