HgCdTe光伏探测器抑制背景通量地研究.pdfVIP

第37卷增刊 激光与红外 V01．37，Supplement 2007年9月 LASER＆ ⅢFRARED September，2007 文章编号：lool-5078(2007)增刊_13935-03 HgCdTe光伏探测器抑制背景通量的研究 王晨飞，陈洪雷，李言谨 (中国科学院上海技术物理研究所，上海200083) 摘要：对于长线列焦平面器件，筒单的单孔玲屏往往不能有效地抑制背景，本文在 Hg。一，cd，Te光伏探测器背面镀制微孔冷屏的办法来降低背景。测试结果表明，探测器镀制微 孔冷屏之后，可以使背景辐射通量大幅度减少，同时减少了光串音。从而证明微孔冷屏的确可 以有效地抑制背景通量，减少光敏元响应面积扩大的问题，对于红外焦平面器件的性能提高有 帮助。 关键词：HgCdTe探测器；背景抑制；微孔冷屏；双面光刻 中图分类号：TN215 文献标识码：A of