AFM探针重定位系统H∞控制器设计与分析.pdfVIP

下载本文档

8
0
约 3页
2017-08-19 发布于安徽
举报
版权申诉

AFM探针重定位系统H∞控制器设计与分析.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

Ⅷ21 2 _2l§*w2 系统仿真学报0 Suppl 竺竺兰：：： !!：21111墅!堡竺!i竺型竺竺一竺：0竺 AFM探针重定位系统H。o控制器设计与分析孙鑫，费戢巍，程传东 (t自^}n自I＆目自自m}＆-±*2008／2) 擅要：分析Tm米重定口}‰的常用童定位技术，建i7髹针悬臂俯耪量模型，探针计是倡盖前恃朴瞎和电陶瓷I潍刊的模型．通过叶其标准化，求☆控制嚣K，井对其鲁m性进行舟析．最月，进行计算机律真，镕秉表明，所设计的系鲢县有良好的率踪、t定位能力．关健蜀：Hto-＆制，原于力＆蚀魄童定位：*米中圈分类号ITH702．TH742文簟标识码：A 骱Controllerand DesignAnalysis Probe’S BasedonAFM System Repositioning SUNXh,FEIMinfn吐az哪c^蜊-咖 of触model，the 4训“捌probe Abstrad．Thenano十∞16帅mgsystem。印吲6咖1Ⅱgtechnologyw∞amdyz吐and ThK∞咖o№洲口∞ktip№ieedf删Ⅳdco∞岬4岫and肼刊e曲j…r,udeJ盯H∞∞胁d坩m¨h simulati帆resultsshowthm be sumdardizedthemodel。and∞dy酬itsre,asonabl—FuⅢ,aly．computct derivodthrough abi[itytorepositioaing．她desi自aedwstemh∞goodtncking mjc∞∞0pe；r印∞itioOns；矾呻 Keywo¨EH∞∞ntrol；atomic自Ice 引言 s骨一[|}] 蚺来科拄发展至夸，陆续出现了一些普遍使用的SPM 式中系数矩阵c。。为重定位技术，这些重定位技术与方法大致可分为：基于标记点的重定位方法、基于复台化SPM的重定位方浩以厦基于降≮笋0。．模板匹配的重定位方法等，有些受到使用条件环境等园素的。影响不雌r泛采用，有些定位精度低。AFM纳米重定位控一=| 鸶鸶制主要受压电陶瓷臂的迟滞特性和悬臂变形引起探针偏差【。等蔷的影响．压电陶瓷驱动器受非线性、迟滞和坪自等固有特性 l‘=6矿／12。其中I=∞pna 的影响，难猷建i