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低温与超导 半导体制冷器在红外探测器中的应用及发展趋势 黄宗坦,李家鹛,越玉琼,黄伟,陈军.眯晓屏 (皑郸物H研究所.昆明650223) 擒要:本戈介绍半导体耐净器在红井撵葛器锂域的应用情况.对近年辨起∞督溢及浅捌挎一十世K“外探翻嚣的基 本原理自制抟器砣置怍丁窑科介缚.分析T中导体捌抟≈殿舞虹外埠捌嚣的葛奉优势和未来扣荚发胜趋势。 美蕾司:半导体制玲.红外探穗嚣:俺平面m件 and ofRmjc¨dII咖r deltctor Applhflondevelopment refrlgerac/onform Iluang跏目∞.LiJl‘州.m岫Y。qb%.H叫twi cknh.cb x岫w 650223.ck”) (KⅢmln$I舢kd孙y·珥.K椭I ^htn“:‘PdI州I∞d…d州or—HEmu∞ininfn,red(IR)女∞斯f t珈,d*“娜d鼬r刊P“MIdc“IR拍m.which忡tin㈣p…mdupe^dn商噼r蚵岫岫■口峨睁 of·啪;∞d咐枷#椭*m坼inIR酗々帆 o∞nⅢdec“e.一删dnn‘啦&dcvcl0P…m眦6m Kq’础.s咖;∞r.dIlaw洲cemio..1R女l。cIo『.hc.I洳F¨p帆 。非制冷塑”焦平面撵穗器和使用多级半导体制冷 l前言 嚣的浅制冷型焦平面探测器。 半导体制冷是基于热电教应(即帕尔帖效应) 室温汪区懿}平面探测嚣技术方面魁于铗先水平 的一种翩}争方法。热电制冷发现予19世纪.兴于 的美国、法国和以色列等国家。为了更好地保证探测 20世纪50年代.在圊体物理学的迅速发腮形势下.器性能的稳定和良好.均采用了高温度稳定性的半 得益于具有较高帕尔帖系数的半导体材料出现.促 导体制拎技术配精密控温电子系统。典型产品有: 使半导体制跨嚣莲步走向实际应用。 羹同Honeywell公司320x240辕‘t钒(V0。)擞谢辐 经过五十多年的发展.半导体制冷器已在多个 射热计焦平面探捌器(基于温度敏感教应)、以色列 领域樽到广泛应用。其中在光电镬域在如红外探测 320x256&384 scD公司的踟d x288VOx傲潸辐 器、光电倍增管、功率器件和激光器的实际使用.获 射热计焦平面探稠嚣(基于温度皱感效应)和德州 得了瞩目的成就。它提高了相关光电元件的工作稳 hl|扛u 仪器公司Texas rn吼b钍酸锩钡(B计)非铺}争 定性和可靠性.拓宽了光电元件的用武之地,这是半 热平面探掰器(基于热释电原理)辱,均音有单级半 导体制冷器应用的成功典范;在茸他如数字精密加 导体制 工领域的电子冷冻车刨、电于擒冻兢剐、电子拎琼瞎 削、电子拎冻铸造和液膜球液等也广泛运用半导体 制玲技术;此外在生物学分析仪器、精密医学仪器、 车载冰箱、船载空调设备、计算机设备、海上无人值 守供电设备等半导体制玲技术均发挥丁很好的作 用。 2半导体制冷器在红外探测器应甩 现状 一般来说红外捃测器使用半导体制冷器可以分为两 类:使用单级半导体制冷器的工作于堂温附近的 作者简介:黄宗坦.用.高I,主登从事半导体制岭器研究。 第九届全国低温工程走会论文集

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