微波ECR等离子体内参数的静电探针测量.pdfVIP

微波ECR等离子体内参数的静电探针测量 王倩，刘华 电子科技大学自动化工程学院成都610054 tomatc】0106@hotmail．corn 摘要：针对传统的等离子体测试系统与测试手法，并结合了微波等离子体的特性，本文引入了自动测试技术．计算机及集成单 片机技术设计了一个新的等离子体静电探针测试系统。将该系统应用于微波ECR等离子体参数的测定，经实验测试效果较 好。 关键词：静电探针。微波E隙等离子体，测试系统 Measurementof MicrowaveECRPlasmalnnerParameters ElectrostaticProbe by Hua WangQian，Liu Sd∞olof ofEle