KBAX射线显微镜分辨力模型.pdfVIP

第 23卷第 1O期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．23，NO．10 2011年 1O月 HIGH POW ER LASER AND PARTICIE BEAM S Oct．，2011 文章编号： 1001—4322(2011)10—2668—05 KBAX射线显微镜分辨力模型 赵玲玲 ， 胡家升。， 孙德林。， 王 刚 (1．鲁东大学 物理与 电子工程学院，山东 烟台 264025； 2．大连理工大学 电子与信息工程学院，辽宁 大连 116024； 3．鲁东大学 交通学院，山东 烟台 264025) 摘 要 ： 综合考虑 了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对 KBAX射线显微镜分辨力的影响，构建 了 分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不 同视场位置 的边缘响应函数 ，以2O ～8O 的评价标准确定了几何 像差分辨力 。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力 。KBAX射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论 分辨力和实测分辨力基本一致 。用单层膜 KBA显微镜获得 的x射线成像结果，得 出中心视场的分辨力约为 4 m，±100 m视场的分辨力优于 5 m。实验结果表 明，几何像差对空间分辨力影响权重相对较大，是影响空 间分辨力的决定性因素，其它因素的影响相对较小 。 关键词 ： x射线成像 ； KBA显微镜 ； 掠入射反射成像系统； 消像散系统 中图分类号 ： O434．I9 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP2668 由于介质对 x射线 的折射率小于 1，而且 X射线被介质强烈吸收，这些 因素给 X射线成像增加 了很大难 度 ，常规的成像方法难以适应 X射线波段 。目前 ，多采用掠入射反射成像和编码孔径成像技术_1]。1922年 ， Compton发现 X射线可在掠入射情况下从抛光的表面反射并可发生全外反射现象。根据全外反射原理 ，1948 年 ，Kirkpatrick和Baez发展了一种掠入射 x射线成像系统(KB显微镜)[2]，并成功获得 X射线的2维图像 。 该系统由两个相互垂直放置的球面 (或柱面)反射镜构成 ，这是一种消像散的结构 ，但存在严重的慧差和视场倾 斜 。随后 ，wolter在总结前人工作的基础上于 1952年研究和发展 了3种掠入射 x射线成像结构 ，即Wolter 工，WolterⅡ和 WolterllI型。后来几十年所发展的掠入射 x射线成像系统基本上是 KB型结构和 Wolter型 结构及其变种口]。反射镜表面的形状是决定所能达到聚焦质量 的关键 。由于效率高和消色差 ，当弥散斑小于 10肚m时，传统上选择反射镜作为聚焦成像系统。历经数十年，经过多人的努力 ，这种成像方法 的弥散斑尺寸 可以降至亚 x／m[4]。1997年，法 国的R．Saunenf等人研制成的KBA型 X射线显微镜在子午面和弧矢面均应 用两个平行的球面反射镜 6]，这种结构基本上校正了KB型显微镜严重的视场倾斜 ，扩展 了有效视场。随着 KBA系统视场的增大 ，KBA 的成像质量会变差。虽然我们用光线追迹的方法得到 了KBA系统 的分辨力_l6]， 但与实际值存在差距。因此 ，本文综合考虑了几何像差 、衍射效应和加工精度等因素对分辨力 的影响，构建了 分辨力模型，并通过实验对所得的x射线像进行验证 。 1 KBA 系统的结构参数 KBA型 x射线显微镜是在 KB型显微镜 的基础上发 展起来的，如图 1所示 。该系统 由4块曲率半径相 同的球 面反射镜构成 。前两块反射镜 M 和 M。以一定 的夹角构 成一组双反射镜 ，将水平面的x射线汇聚成一条竖直的线 ； 后两块反射镜 M。和 M 又 以一定 的夹角构成另一组双反 射镜 ，再将竖直的线汇聚成一点像 。A点为物点，A 点为像 点，折线AQQ。Q。QA 定义为系统的伪轴，Q ，Q ，Q。，Q 分别为每块反射镜的顶点。水平面是 AQQ。构成的平面， 垂直面是 Q。QQ构成的平面。 Fig．1 KBA X—raymicroscope