基于斜入射自准法哈特曼-夏克波前传感器测量数据分析.pdfVIP

36 《 鬈 筹 特曼一蠢鎏 ．加2， 基于斜入射 自准法哈特曼 一夏克波前传感器测量数据分析 徐高平 ，周雪云 ，魏建宁 ，官春林 ，1．九江学院 理学院．江西 九江 332005； 、 ＼2．中国科学院光电技术研究所，四川成都 610209／ 提要：为了验证哈特曼一夏克波前传感器在光线斜入射到被测物体表面时所测数据的可靠性，本文采用变形镜模拟激光镜面热畸变，使变 形镜在不同的驱动电压下产生相应的形变，用哈特曼一夏克波前传感器作为测量仪器，分别以垂直入射法和斜入射法测量了变形镜在各驱动 电压下的形变数据。对比两种方法测得的波前像差峰谷值(PV值)数据发现，斜入射法测得的数据小于垂直入射法测得的真实数据，孝之 的相对偏差随形变量的增大而增大 ，且与入射角密切有关，随着入射角的增大，相对偏差明显增大。若将斜入射法测得的数据除以入射角的余 弦对数据进行修正，结果与真实数据吻合很好，波前像差PV值最大相对偏差不到2％。 关键词：激光；热畸变；哈特曼一夏克波前传感器；波前像差 中图分类号：O439 文献标识码：A 文章编号：0253—2743(2o12)06一O036—02 1[1leanalysisofharlmann—shackwavefrontsensormeasuringdatum based onslantincidenceautocollimationmethod XUGao—ping1，ZHOUXue—yun。WEIJian—nnig。GUANChun—lin2 ，1．SchoolofScience，JiujiangUniversity，Jiujiang，Jiangxi332005。China； ＼ ＼2．TheInstituteofOpticsandElectronics，theChineseAcademyofScience，Chengdu，Sichuan610209，China] Al~ raet：Inordertoverifytherehabilityof measureddatabyHartmann—ShackwavefrnotSellsorinSlnatIncidenceAuteeollimatino Method，Inthispaper， adefonnablemirrorisusedtosimulatemirrorthermaldistortioninducedbylaser。whichdeformsbydifferentdrivevoltagesloadde on it．Thedeformationis meas~ byaHartmann—．ShackwavefrontsensorinthemethodofnormalincidencenadSlnatnIcideneerespectively．Incontrasttohtetruepeaktovalleyvalue (PVvalue)ofwavefrnotaberrationwhichismeasuredinnormalincidencemehtod，thePVvalueofwavefrnotaberrationmeasuredinSlnatIncidencemethodis less，hterelativedeviationbetweenhtem increaseswi出 hteincreasingofhtedeformation，nadcloselyrelateswitIltlleincidentan e．Withtlleincreasingof incidentna~le。hterelativedeviationincreasessignificantly．Inordertocorrectthedeviation，thedatum whichishtePVvalueofwavef