基于力法地磁微执行器地失稳研究.pdfVIP

基于力法的磁微执行器的失稳研究 方玉明1一，黄庆安1，李伟华1 (1东南大学MEMS教育部重点实验室，南京210096；2南京邮电大学光电工程学院，南京210003) 摘要：磁微执行器中存在重要的失稳问题。对于宏观器件，磁芯磁阻可以忽略，可以利用电磁 类比，得到失稳参数。但对于微观器件，磁芯磁阻不可以忽略，不可以利用电磁类比。本文采用 力法对磁微执行器的失稳现象进行分析和建模，考虑了微磁芯磁阻，在建立磁微执行器动态小信 号模型的基础上，通过求解两个失稳方程，得到失稳电流和位置两个重要参数．最后，给出了一 个分析实例，以反映微磁芯磁阻对的影响。本文的结论对于磁微执行器的设计具有重要意义． 关键词：磁；力法；微执行器；稳定性 1引言 近年来，磁微执行器的发展十分迅速。与静电微执行器同样，Pull．in失稳问题一直是磁微执行器中的 关键问题。目前关于静电微执行器Pull—in失稳问题的研究非常多[1-3】。研究方法可分为两类：一类可称为 “力法”【1．2l，即研究作用在活动极板上的静电力与弹簧力的合力变化，导出了Pull．in失稳条件：当极板 f．丌】距有一正值的微小扰动时，合力的变化量也为正。另一类是“能量法”【3l，即系统的总势能(静电势能+ }JL械势能)对极板间距一阶、二阶导数同时为零时，Pull．in失稳发生。两种方法得出的结果一致。力法的 优点是能直观地反映物理现象；能量法的优点是具有高度的概括性，能将力法纳入其中，但缺点是比较抽 象。相对于静电微执行器，关于磁微执行器的失稳研究论文很少[41。因为一般认为，利用电一磁相似关系【6】， 呵以直接将静电微执行器的Pull．in失稳结论转化为相应的磁微执行器的结论。但是必须认识到，只有在忽 略磁芯磁阻的情况下，电．磁相似关系才可以直接利用。对于宏观磁器件，磁芯磁阻相对于磁隙磁阻很小， 可以忽略，可以直接利用电一磁相似关系。然而，对于磁微执行器件，微磁芯的磁阻是不可忽略的【5．‘丌。因 此，对于磁微执行器的Pull．in失稳问题必须做更深入的研究。 本文采用力法，考虑了微磁芯磁阻，利用小信号模型的稳定条件，导出了Pull．in失稳条件。本文的结 论对于磁微执行器的设计具有重要意义。 2磁微执行器Pul1-in失稳模型 图1是一种常见的磁驱动微执行器示意图，设左右两侧铁芯截面积分别为A—l，A。。纠。显然本例中， 功态小位移，工l“肋。同样设活动极板质量为m，则活动极板的动力学方程为 磁(f)+d(f)+kx(t)=凡(Lx，f) (1) 式中，％(五工，t)是磁力。 748 月弹 Jjc嗽．f 图l磁驱动微执行器结构示意图 图2磁驱动微执行器磁路图 咫一l、心噼，、心ap分别是左侧磁芯磁阻、右侧磁芯磁阻和磁隙磁阻。在宏观器件中，tr很大，尺。时I、凰叫H 。但对于磁微执行器件，微磁 相对于‰姚可以忽略，-且econ,．1-瓦lcore-I；尺一。=瓦Icore-r 磁 阻是不 忽略饷陋石．1J一删么 ＆叩 = R棚 一 (2) 孙一鳓 一。一以兰脚 一∥ OL～ 舯，‰k艄惺赫酬嗽枨麂毽apo 2忐舰黝蝴啪勰姗确躺髓为 ％=互1瓦再N丽212 (3)