连续式镀膜生产线进片室清洁真空地研究.pdfVIP

连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究 龚建华1，段献学2，张永胜2，贾庆云3 ． 8000， 1．深圳市摩尔真空技术有限公司深圳51 2．合肥工业大学合肥230009 3．上海西贝光学材料技术有限公司上海200000 摘要。长期以来，平面基片连续镀膜生产线进片室配置的真空机组中，均以罗茨真空泵为主泵，其油蒸汽 对经过和停留于此的清洁基片产生的污染以及派生的不利因素，对膜层质量会产生显性和隐性的负面影响。 目前平面基片溅射镀膜领域已形成了巨大的产业化的规模，在国民经济中起到举足轻重的作用，因此这一现 象亟待解决．而国内新开发出的新型泵种——分子增压泵，能涵盖罗茨真空泵大部分工作范围，具有优越的 中真空抽气性能。它极高的压缩比可以最有效地抑制高分子的油蒸汽分子，从而实现清洁真空．因此用分子 ，增压泵取代罗茨泵有望从根本上解决这一问题。 关键词：分子增压泵：罗茨泵；返油