传感器原理及应用-第3章88795.ppt

第三章 电容式传感器 一、电容式传感器的工作原理 二、电容式传感器的测量电路 三、电容式传感器的误差分析 四、电容式传感器的应用 本章重点： 电容式传感器的构成原理及特性 电容式传感器的测量电路 电容式传感器的误差分析 概述 测量范围大，灵敏度高，动态响应特性好，结构简单、适应性强，抗过载能力大，价格便宜，一般用于测量压力、力、位移、振动、液位等。 容易实现非接触测量。 寄生电容较大，具有非线性。 §3-3 电容式传感器的主要性能及特点 一、主要性能 1、静态灵敏度 是被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。 对于变极距型其静态灵敏度是初始极板间距d的函数，同时还随被测量而变化。减小d可以提高灵敏度，但d过小易导致电容击穿（空气的击穿电压为3kV／mm），可在极板间加一层云母片（其击穿电压大于 103kV/mm）或塑料膜来改善电容器耐压性能。 对圆筒型变面积式电容式传感器， K取决于r2/r1。虽然内外极原始覆盖长度l与灵敏度无关，但不可太小，否则边缘效应将影响到线性度。 另外，变极距型和变面积型传感器可采用差动结构来提高静态灵敏度，一般提高一倍。例如，对圆筒变面积型差动式电容式传感器，其静态灵敏度为 2、非线性 变极距型非线性较明显，采用差动结构非线性得到很大改善，灵敏度也提高了一倍。如果其输出量采用容抗XC=1/(ωC) ，那么被测量?d就与?XC成线性关系，不需要满足?d d这一要求了。 忽略边缘效应时，变面积型和变介电常数型（测厚除外）传感器具有很好的线性，但实际上由于边缘效应引起极板或极筒间电场分布不均匀，导致非线性问题仍然存在，且灵敏度下降，但比变极距型好。 结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。此外可以做得体积很小，以便实现某些特殊要求的测量。 二、 特点 1、温度稳定性好 电容值与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数等机械特性考虑，合理选择材料和几何尺寸即可，其他因素(因本身发热极小) 影响甚微。 2、结构简单，适应性强 电容式传感器由于极板间的静电引力很小（约几个10-5N），需要的作用能量极小，又由于其可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几MHz的频率下工作，特别适合动态测量。 又由于其介质损耗小，可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 3、动态响应好 电容传感器可以实现非接触测量。当采用多组极板同时测量时（容栅传感器），传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 4、可实现非接触测量、具有平均效应 电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板间的静电引力极小，因此输入能量极小，所以特别适宜低能量输入的测量，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常高，能感受0.001m甚至更小的位移。 受电极几何尺寸等限制，初始电容一般为几十到几百pF，使输出阻抗很高，尤其当采用音频交流电源时，输出阻抗高达106～108Ω。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响，必须采取屏蔽措施。 容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十MΩ以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。 高频供电虽然可降低传感器输出阻抗，但放大、传输远比低频时复杂，且寄生电容影响加大，难以保证工作稳定。 不足： 1、输出阻抗高，负载能力差 传感器初始电容量很小，而其引线电缆电容（l～2m导线可达800pF）、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大： ①降低了传感器的灵敏度； ②寄生电容常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度，其变化量甚至超过被测量引起的电容变化量，致使传感器无法工作。 因此对电缆选择、安装、接法有要求。 2、寄生电容影响大 3、输出特性非线性 随着材料、工艺、电子技术，特别是集成电路的高速发展，使电容式传感器的优点得到发扬而缺点不断得到克服。电容传感器正逐渐成为一种高灵敏度、高精度