立体光固化制备功能陶瓷器件地研究.pdfVIP

张人佶，等：立体光固化制备功能陶瓷器件的研究 55 立体光固化制备功能陶瓷器件的研究 张人佶颜永年张定军 (清华大学机械工程系，北京100084) 摘要根据功能陶瓷材料和立体光固化快速成形工艺的特点，分析了陶瓷悬浮液的光固化机理，开展了压电陶 瓷微器件成形制造的工艺研究，并提出了保证光固化成形件的表面质量的措施。 关键词立体光固化功能陶瓷 悬浮液 功能陶瓷由于具有优越的压电、介电、热释电等 已固化表面重新补充一层悬浮液，然后进行下一层 特性而得以广泛应用，但其成形比较困难，成形件的 固化；如此蘑复直到制作完所有层片，层与层粘结起 表面质量也难以得到有效控制。通常的成形方法包 来即可获得三维支体。 括干法成形与湿法成形，它们的共同点就是必须依 1．2工艺路线 ． 赖特定的模具。而对于形状比较复杂或者具有细微 按照立体光同化成形工艺原理确定的功能陶瓷 结构的陶瓷器件而言，其模具的制作时问往往非常 器件的制备工艺路线为： 长，且某些结构的陶瓷器件的模具制作是非常困难 (1)陶瓷悬浮液的制备 的。因此，现有的陶瓷成形方法在成形效率、成形复 将功能陶瓷粉体与光敏树脂混合配制成悬浮 杂性和成形细节方面大大限制了功能陶瓷的应用， 液。为保持悬浮液的流动性，陶瓷粉体的粒度和形 开发新的成形方法成为陶瓷材料研究的一个重点。 状应满足一定的要求，光敏树脂的粘度要求在200 快速成形技术可以较好地解决现有的陶瓷成形 厘泊(30QC)以下。悬浮液中陶瓷粉末的含量要尽 方法存在的问题。快速成形技术主要有三维打印成 可能高，并添加适当的分散剂。 形、立体光固化成形和硅蚀刻成形等。英国曼彻斯 (2)光固化涂层过程 特大学的D．H．Lee等…采用三维打印成形工艺制 陶瓷悬浮液的流动性较差，普通的逐层涂敷方 得了PzT压电陶瓷，并对相关的悬浮液进行了研 法难以实现涂层，容易造成成形缺陷，因此需要确定 101 究。法国的O．Dufaud等”01在丙烯酸基Diaciyl 特殊的涂层工艺，严格控制其工艺参数。 和环氧树脂Somos6100光敏树脂中掺人PZT压电 (3)陶瓷坯体的烧结 陶瓷粉末，并加入一定量的分散剂，采用立体光固化 对陶瓷坯体烧结的目的是去除陶瓷坯体中的光 成形工艺得到的成形件具有较高的精度。国内的李 敏树脂并使陶瓷坯体变得致密。烧结工艺参数的合 敬峰等”1采用高能离子在硅模上蚀刻出陶瓷微结 理设置也会影响最终陶瓷器件的性能。烧结工艺参 构的阴模，然后将压电陶瓷浆料注射在硅模中进行 数包括烧结温度、升温速度、保温时间等。 高温静压烧结，得到具有微结构的PZT压电陶瓷。 (4)烧结件的后处理 笔者分析了功能陶瓷(如PZT压电陶瓷)的立 立体光固化成形件需要经过二次固化，笔者制 体光固化成形机理，研究了功能陶瓷悬浮液的立体 备的功能陶瓷成形件在经过去除光敏树脂粘结剂 光固化工艺，并制备了压电陶瓷微器件”J。 后，致密度会受到很大影响，这就需要一方面在三维 1立体光固化成形功能陶瓷器件的基本原理与工 CAD造型时放大尺寸，另一方面需通过打磨、抛光 艺 等后处理来达到尺寸精度及表面精度。 1．I基本原理 1．3工艺过程 立体光固化成形功能陶瓷器件的基本原理是：