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第三章 透射电子显微镜分析 §3.1概述 一、光学显微镜的局限性 利用紫外线，强烈地吸收；γ射线、X 射线没有办法使其聚焦 （2）电磁透镜特点： ① 能使电子偏转会聚成像，不能加速电子； ② 总是会聚透镜； ③ 改变线圈中的电流强度可很方便地控制焦距和放大率焦距、放大倍数连续可调。 （3）电磁透镜的光学性质 电磁透镜物距、像距和焦距三者间的关系与光学玻璃透镜相似，满足牛顿透镜方程 （3）电磁透镜的光学性质 电磁透镜具有光学凸透镜的特点，它们物距、像距和焦距三者间的关系相似，满足牛顿透镜方程 （4）电磁透镜的像差与分辩率 根据瑞利判据，电磁透镜的分辩率为： 1） 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜后折射得比近轴电子要厉害得多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个半径为Rs漫散圆斑，折算到物平面上，得 3）像散 磁场不对称时，就出现象差。可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各项磁导率差异引起。有的方向电子束的折射比别的方向强，如图所示，这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为RA，折算到物平面上，得 2） 色差 电子的能量不同，从而波长不一造成的。电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 在电磁透镜中，球差对分辨率的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正过来。而其他像差在设计和制造时，采取适当的措施是可以消除的。 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.3 电子探针的工作原理与结构 §4.4 电子探针的分析方法及应用 §4.4 电子探针的分析方法及应用 §4.4 电子探针的分析方法及应用 §4.4 电子探针的分析方法及应用 §4.4 电子探针的分析方法及应用 §4.4 电子探针的分析方法及应用 §4.1 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM） 二、扫描电子显微镜的构造和工作原理 SEM是由电子光学系统，信号收集处理、图像显示和纪录系统，真空系统三部组成。 （一）电子光学系统 包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。 §4.1 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM） 二、扫描电子显微镜的构造和工作原理 SEM是由电子光学系统，信号收集处理、图像显示和纪录系统，真空系统三部组成。 （一）电子光学系统 包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。 1. 电子枪 SEM 中的电子枪与TEM 中的相似， 但加速电压比TEM 低. 热阴极电子枪 束斑可达6nm. 六硼化镧和场发射电子枪，束斑更小 . 〔比较〕透射电镜一般是电子光学系统（照明系统）、成像放大纪录系统、电源和真空系统三大部分组成。 §4.1 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM） 二、扫描电子显微镜的构造和工作原理 （一）电子光学系统 2. 电磁透镜 功 能： 聚焦电子枪束斑，使50um → 几nm 斑点。 一般有三级透镜。前二者是强透镜，可把电子束光斑缩小。第三个是弱透镜，具有较长的焦距，习惯于叫物镜，其目的在于使样品和透镜之间留有一定空间以装入各种信号探测器 　SEM中束斑越小，即成像单元越小，相应的分辨率就愈高。 §4.1 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM） 二、扫描电子显微镜的构造和工作原理 （一）电子光学系统 3 扫描线圈 　其作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作严格同步，因为它们是由同一扫描发生器控制的。 光栅扫描　上下偏转线圈同时工作。角光栅（摆动）扫描　上偏转线圈工作，下偏转线圈不工作， §4.1 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM） 二、扫描电子显微镜的构造和工作原理 （一）电子光学系统 4. 样品室 功 能：放置样品，安装信号探测器；各种信