电化学法再生酸性氯化铜蚀刻液评述.pdfVIP

【电子电镀】 电化学法再生酸性氯化铜蚀刻液评述 徐海清*，钟洪胜，袁国伟，赵国鹏，胡耀红 （广州市二轻工业科学技术研究所，广东广州 510663 ） 摘要：综述了电化学法再生酸性氯化铜蚀刻废液的研究现状， 而需要再生。蚀刻液再生是在维持蚀刻液其他成分不 全面分析了各种电化学法的优缺点，并讨论了电化学法再生酸 变的前提下，使溶液中的 Cu+氧化为 Cu2+ 。酸性蚀刻 性蚀刻液中可能出现的阳极析氯、阴极析氢问题，探讨了电极 液再生主要有化学再生法[3]和电化学再生法[4-13] 。化学 材料和膜材料的选择，指出了酸性蚀刻液电化学再生法的发展 趋势。 再生法如氯气氧化法、氯酸钠氧化法、双氧水再生法 关键词：印刷线路板；酸性氯化铜蚀刻液；再生；电化学法 等，需加入氧化剂等物质，最终都会对外排出一部分 中图分类号：X781.1; TG178 文献标志码：A 酸性蚀刻废液，不仅污染环境，还会造成大量铜和酸 文章编号：1004 – 227X (2011) 09 – 0034 – 04 的浪费。电化学再生法是一种在线再生方法，可以实 Review on electrolytic regeneration of acidic cupric chloride etchant // XU Hai-qing*, ZHONG Hong-sheng, 现蚀刻工作与蚀刻液再生在一个循环体系中连续运 YUAN Guo-wei, ZHAO Guo-peng, HU Yao-hong 行，即阳极再生蚀刻液的同时，还可在阴极沉积回收 Abstract: The state of the art of electrolytic regeneration of 铜，使蚀刻过程中增加的铜得以回收，为 PCB 企业增 acid cupric chloride etchant was reviewed. The advantages 加额外的收入，而且基本没有废液、废气的排出，是 and disadvantages of various electrochemical methods were 一种环境友好型清洁生产工艺。因此，电化学法再生 comprehensively analyzed. The chlorine evolution at anode, the hydrogen evolution at cathode, and the selection of 酸性氯化铜蚀刻液极具发展前景。 electrode and membrane materials were discussed. The 本文简要综述了国内外电化学法再生回收酸性氯 development trend of electrolytic regeneration of acidic 化铜蚀刻液的研究现状，分析了电化学法再生蚀刻液 cupric chloride etchants was pointed out. 过程中常见的问题，并提出解决办法。 Keywords: printed circuit board; acidic cupric chloride etchant; regeneration; electrolytic process 2 电化学再生法原理 First-author’s address: Guangzhou Etsing Plating 电化学再生法又叫电解再生法，酸性氯化铜蚀刻 Research Institute, Guangzhou 510663, China