三维微硅加速度传感器的设计与制作.pdfVIP

盂军茅盘松张旭 (东南大学微电子中心南京210096) 尊 摘要 本文详细介绍了一种采用固支梁结构的电容式三维戳硅加速晓传感器的结构 及工作原理，分析了设计所需考虑的各种困紊，最后介绍了其工艺实现方法。本文所设计的 三维镦隆嘟教鼢#感器，结构中三个b嚏度计的工作方式与对三个轴向加速度的测试方{去是 量 统一的，三个方向的加速度测量范围为±109(100m序)左右。 一．引言 微硅加速度传感器是一种重要的力学量传感器，是最早得到研究和应用的微机械惯性 传感器。经过十几年的研究，对—维微硅自瞳畦c干赣瓣的研制已经形成—套比较完整的理论 体系，制造出的产品已广泛地应用于自动控制、汽车驾驶防震保护、军事和空间系统等方面。 为了适应测量空间加速度的要求，三维微i睦力畦醮群撼器的研制成为这月年的热门课露q。 对三维微硅掘速度传感器的研制有两种方案，一种是分别制作三个单轴加速度计，经 过组台拼装，用于测量三个方向的加速度：另—种是将三个l测试不同方向的加速度计集成于 —个硅片上，分别铡量三个方向的加速度。本文介绍的是采用后一种方案的电容式三维微硅 加速度传感器的设计与制作，采用“硅懈”键合形式，就可以将三个加速度计集成在一 个硅片上。采甩此种方案，有利于提高系统的稳老陛和成品率，在弼试方式E也可以达§0统 一。本文所设计的三维微硅加速度传感器结构，三个方向的加速度测量范围为±109 (100Ⅱ泞)左右。 二．结构与工作原理 1 (^) ，【J 争 图一三维微硅加速度计示意图 (a)俯视图(b)侧视图 本文所述加速度计结构如图一所示，其俯视图近似为一个正方形结构·在四个角上作 四个桥墩，四个质量炔通过粱连接在桥墩匕在强谨蝴围作固定电极J当厦礓睇晒4垂直 于固蔓梁方向的加速度作用时，质塑殃与固定电极的间蹉就会发生垄臣化，使—叶词诌婀以 同时检测两个相互垂直方向的加速度，再将这个结构分别旋转90。、18。。和270。，彤成一 个由四个剿蝴撒计合并的对称络陶，通过谚垂鲁陶，就可删蝴《三扑轴向的m蘧度，再经 ● 由后续澳幔电路的处理，即可得到空间加速度的具体f青况”。 这种方案要求使哽量块在梁两边的磺量对称，有加速度时．作用在质量块上豹力使粱发 生的运动不是扭转，而是弯曲，这样可以满足在结构平放时，质量块的重力不产生扭转力矩， 减小重力的影响，丽目这种结构不存在放置方向的问题，有根好的可实现性。 三．结晦堤计 决定该加速度计灵敏度与测量范围的结构参数主要有：固支粱的长度1、宽度b和厚瘦 c：质量块的长度L、黻W和厚度D：嘲顺戥与固定电极的问距da精确的矧每分析 和设计比较复杂，现提出一种简支梁力学结构模垂掣。该馍型假设： 1．考虑小挠度形变： 2．质量块在梁两边的质量对称： 3．质量#环湾啦。 根据以上假设，整个结构可简化为两端简支，中间均匀重力分布的—根三段粱结构， 并且中间一段不变形，假定该结构仅有弯盐形变，不存在扭转形变。结构如图二所示，其中 113为中闯—段的质量。 Z 0