压电式传感器07电子工艺.pptVIP

3.3 压电式传感器 主要内容： 1.压电式传感器 2.压电效应和压电材料 3.压电元件的等效电路 4.压电式传感器的测量电路 重点：压电效应、压电元件的等效电路 难点：压电式传感器的测量电路 一.压电式传感器 是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。是一种典型的有源传感器 *特点: 工作频带宽，灵敏度高，结构简单，体积小，重量轻，工作可靠。 *应用范围： 各种动态力、机械冲击、振动测量、生物医学、超声、通信、宇航等领域。 1.1、压电式传感器的应用1压电式脚踏报警器 3.交通监测 将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包括轴数、轴距、轮距、单双轮胎）、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集（道路监控）及机场滑行道等。 4.压电式动态力传感器以及在车床中用于动态切削力的测量 5.压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用 1.2.总结分析、 压电传感器的工作原理 热电偶的原理： 热电效应 二.压电效应 正压电效应：当压电材料受到一定方向作用力时而发生机械变形，相应的在一定表面上产生电荷，电荷量Q与所施加的力F成正比 ，这种现象称为压电效应 。（压电式传感器） 逆压电效应：当压电材料处于变化的电场中时，压电材料的体积将产生伸长或缩短的变化，称作逆压电效应 (压电式喇叭） 压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 2.1、常用的压电材料及压电材料的压电效应 压电材料 天然形成的石英晶体外形 天然形成的石英晶体外形（续） 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 2.2石英晶体的压电效应 （1）.定性分析 三、压电元件的等效电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个电荷发生器即电荷源 电荷源等效电路：可等效为一个电荷源q和一个电容器Ca的并联电路，如图（a） 电压源等效电路：压电传感器也可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路，如图(b)； 补充：电容的串并联 以两个电容串并联为例，考察串并联后，总的电容容抗、总电压、总电荷容量 思考：压电晶体是否适合于静态测量。为什么？ 总结 1.压电效应 2.压电材料 3.压电元件的等效电路 4压电式传感器的测量电路 预习：电容式传感器 当传感器内部信号电荷无“漏损”，外电路负载无穷大时，压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存，否则电路将以某时间常数按指数规律放电。这对于静态标定以及低频准静态测量极为不利，必然带来误差。事实上，传感器内部不可能没有泄漏，外电路负载也不可能无穷大，只有外力以较高频率不断地作用，传感器的电荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量。 四、 压电传感器测量电路 压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器。 压电式传感器的前置放大器有两个作用： 把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出； 放大压电式传感器输出的弱信号。 前置放大器形式： 电压放大器，其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比； 电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 * * * * * * 2.玻璃打碎报警装置 粘贴位置 将压电测振薄膜粘贴在玻璃上，可以感受到玻璃破碎时会发出的振动，并将电压信号传送给集中报警系统。 压电式步态分析跑台 压电式纵跳 训练分析装置 压电传感器测量双腿跳的动态力 热能 电能 压电式传感器的原理： 正压电效应 机械能 电能 压电陶瓷：钛酸钡、锆钛酸铅 天然：石英晶体 人造压 电材料： 高分子压电材料:聚偏二氟乙烯、聚氟乙烯、改性聚氯乙烯等 天然形成的石英晶体外形 二.压电效应 2.2石英晶体的压电效应 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体 Z X Y (a) (b) 石英晶体 (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 Z Y X 在晶体学中它可用三 根互相垂直的轴表示， Z轴称为光轴； X轴称为电轴； Y轴称为机械轴。 纵向压电效应 ：X轴 横向压电效应 ：Y轴 沿光轴Z－Z方向受力 则不产生压电效应。 双面镀银并封装 图3-13垂直x轴的石英切片及其压电效应 从晶体上沿轴线切下的薄片称为“晶体切片”。图3-13所示是垂直于电轴Ｘ切割的石英片，在与Ｘ轴垂直的两面覆以金属。 沿Ｘ方