MEMS技术在微小型探测系统中的应用.pdfVIP

2005 7全国微波毫米波会议论文集 MEMS技术在微小型探测系统中的应用 张俊峰李兴围娄国伟 (南京理上大学毫米波光波近感技术研究所，南京，210094) 其研究领域已扩展到，射频与微波领域，并有继续向毫米波频率扩展的趋势。本文结合RFMEMS技术研 究的晟新进展，研究了如何利用最新的RFMEMS技术、世计微小型探测系统，以实现探测系统的小型化、 低功耗和高性能。 关键词：微机电系统，微小型探测系统 1引言 随着电子技术的小断发展，以及宇航、卫星、导弹、雷达和通信等军用等领域对屯了系 统提出了越来越高的要求，要求电子系统向小型化、高性能化、多功能化、低成本和高可靠 性方向发胜，即要求电子系统向系统集成的方向发展。微机电(MEMs)技术在电子领域的 广泛廊片】为这种发展提供了一个良好的发腱机遇。因此，基于MMIC和MEMS技术的全集 成化的微小型探测系统是一个十分引人注目的研究方向。 2MEMS技术简介 电子系统的小型化、高性能化、多功能化、低成本化和高可靠性发展方向，使得系统级 集成电路就成为发展的必然趋势。从目前来看，实现这一目标主要通过三种途径来：一是单 片微波集成电路(MMTc)；是多芯片模块(McM)；一是利用微机电技术(MEMS)。1959 iS ofroomaL the 年，RichardP．Feynman存其所作的报告“thereplenty bottom”中， 首次提到了MEMS(Micro．Electro．Mechanical Systems)技术[1】。 MEMS技术是一种在同一块芯片上将各种电气和机械零件集成在一起的微型传感系统。 MEMS在20十}|=纪80年代初已应刷]；=-微型麦克风，在80年代中期应用于微型机械传感器方 面，近几年其研究领域L逐渐涉及到微波、毫米波领域[2][3】，闭外人们常称这种技术为RF MEMS代表了集成电路技术巾一项新的革命。m于MEMS本身就是三 MEMS技术【4]。RF 维结构，丌J方便地融合到三维单片微波集成电路(3DMMIC)[5]中，它与MMIC结合几j构成 崭新的微波、毫米波组件『61。RF—MEMS还有所需功耗低，Q值高等优点。此外，MEMS 还可扩展到红外和光波领域，即微光电．机械系统(MOEMS)[7]，MOEMS可应用于光通信和 光探测系统中。 3MEMS的应用 微波波段的频率高、频带宽、信道容量大，因此，在现代雷达和通信系统巾获得了非常 广泛的应用。得益于这些与生俱来的优势，人们又将目光投向了毫米波和亚毫米波。由f毫 米波的波长更短、频率更高，剀此，系统的天线也更为小巧，具有更好的抗干扰能力，对]‘ 多普勒频移效应也更灵敏，可以提供更宽的频带和更好的分辨率。 在微波波段，包括毫米波段，由丁二其波长特别短，使得部件的尺寸必须减小，MEMS 技术的川t现为这一问题的解决提供了一个有效的途径。MEMS技术使用微加工技术将传统 的部件尺寸减小到微米级，利用微致动器驱动片I．的可动部分，在大大减小系统体积的同时， 也仕省了能量，提高J’系统的性能。 目前，利用MEMS技术进行系统设计，j二要有两种山法，即所谓的倒置法(Down--Top) 372 2005。全国微波毫米波会议论文集 和顺置法(Top--Down)。倒置法是指以新的元器件对原有的系统进行直接置换，实际I．匙 利用新的元器件或技术来改造现有的系统。而顺置法则是由上至r，以突破传统元部件的性 能突破为契机，考虑堞可能充分地采用新元件米组建一个完整系统，对系统构造进行伞新的 设计，从系统级开始，提出全新的设计思路，日前此力法还停留在设想阶段。这里我们采用 的是倒置法设计。 利用MEMS技术，采用倒置法设计探测系统，最突出的一个特点在于系统的体积nJ以 大大减小，同时由于MEMS技术与IC技术具有良好的兼容性，使得基于MEMS技术的器 件与晶体管的集成成为可能。为了进一步说明MEMS技术在微小型探测系统巾的应用，我 们给出了一种比较典型的调频连续波探