关于TFT-LCD蚀刻用载入装置的探讨.pdfVIP

郑鹏飞、向勇 (成都工投电子科技有限公司) 摘要本文从TFT．LCD减薄目的、原理出发，从而引入蚀刻用玻璃载入装置，探讨关于TFT_LCD 液晶玻璃减薄过程中所需玻璃载入装置的各项技术要求、可靠性、可行性及发展趋势。 关键词化学蚀刻减薄CST架子液晶面板 引言 Film crystal TFT_LCD(ThinTransisto卜liquidDisplay)，薄膜电晶体液晶显示屏，诞生于 1960年，经过不断的改良，与1991年正式应用于商业化笔记型电脑。液晶显示屏的优点 就是耗电小，工作电压低，解析度高，无辐射，显示屏本身比较轻薄，便于携带，使用寿 命长等。随着工业技术的逐步成熟，目前TFT-LcD在各个应用领域正逐步取代cRT产品， 成为显示技术之主流。 在TFT-LCD制作过程中，玻璃基板的厚度是至关重要的一环，从生产线制造工艺的 角度来说，玻璃基板的薄化主要通过两种方式实现：：直接购买O．5T甚至更薄的基板；通过 对现有基板进行薄化处理达到所需要的基板厚度。前者由于需要对现有生产线进行升级， 所花费的资金非常庞大，且通过生产线的改造升级只能应对0．5T以上的基板，对0．5T以 下的基板无能为力，但现有的显示器的厚度要求趋势越来越轻薄化，如0．6T、0．5T等，甚 至更薄，所以仍需要对产品进一步进行薄化处理。本文主要探究的是化学蚀刻薄化处理过 程中玻璃载入装置的各项要求、可靠性、可行性及发展趋势。 化学蚀刻薄化的介绍 现有薄化工艺主要分为两大类： (1)化学蚀刻 (2)物理研磨 因为本文所讨论的载入装置应用于化学蚀刻范围内，所以这里主要介绍化学蚀刻。 f+2H20 化学蚀刻的原理：Si02+4HF=SiF4 利用化学溶液与表面材料进行化学反应，应用氢氟酸与二氧化硅反应并使其溶解的原 理，对面板表面进行咬蚀而将面板厚度变薄。现有化学蚀刻方式的主要分类如图1： 125 a)多片直立侵泡式 b)喷淋式 睡I封厂 (c)瀑布流式 (d)侧喷式 图1化学蚀§q方式分娄 咀上四种化学蚀刻方式各有优缺点，在实际生产中都有所应用，F面分别说明其原理： 多片直立浸泡式：采用特有装置，将多片玻璃直立载入，在特制的槽子里加上蚀刻液 (槽子底部加气管，实现鼓泡)，将装载了玻璃的装置放入槽子进行减薄的一种方法。 多片直立喷淋式：本方法需要依靠专业蚀刻设备，首先将蚀刻液实现喷淋状态，然后 将玻璃直立装载到特制的装置中，推进蚀刻设备进行减薄的一种方法。 瀑布流式：本方法是将蚀刻液通过一定的方式让其从需要蚀刻的玻璃表面自然流下来 达到减薄玻璃的一种方法。 侧喷方式：本方法是将玻璃直立固定后，将蚀刻液直接喷淋到玻璃表面的…种减薄方 法。 由于本文所讨论的载入装置是用于直立喷淋式蚀刻方法的，所以本文所涉及的实验、 测试、应用均采用喷淋式蚀刻。 2喷淋式蚀刻 蚀女q是整个生产流程的关键工序．来料是通过蚀刻这一重要工序达到减薄的目的。 喷淋式蚀刻顾名思义即使用专业的设备，使酸液垂直喷洒开．将需要减薄的TFT-LcD 置于喷洒的酸液中，根据酸的浓度及需要减薄的量来确定蚀刻时间，在一定的工艺条件下 达到减薄的化学方法，见图2。 器参枣枣霉毒枣晕矗毒毒最曩毒墨 图2喷淋式蚀刻示意图 为了保证蚀刻时玻璃面板与酸液接触的均匀性及一致性，采用了来回摆动的方式使玻 璃蚀刻面能够充分与酸液接触从而达到良好的蚀刻效果 图3蚀刻机宴物 餮罐A l潜B 图4蚀刻机本体示意图(箭头表示酸液流向) 图3、图4是蚀刻机的示意图，蚀刻过程酸液循环使用，在每次蚀刻前后玻璃都要在 DI舱进行DI喷淋(蚀刻