基于微型热探头的气体流量测量方法研究.pdfVIP

2006年全国流量测量学术交流会论文集 、 基于微型热探头的气体流量测量方法研究 梁国伟1，郑永军1，王芳1，赵伟国1，傅志辉2，刘宁2 1．中国计量学院计量技术工程学院，杭州310018，2．日照市计量测试所，日照276826 摘要文章利用微型铂膜温度传感器在高温下强迫对流换热的原理。用桥路补偿环境温度的方法。设 计了一种应用于汽车进气流置测量的铂膜空气流量计。并在此基础上提出了基于多点测量的热 式气体流量测量方法。实验结果表明：良好的补偿设计可使铂膜空气流量计很好地应用于汽车 电喷系统中。而多点热式气体流量测量方法可以明显改善某些单点测量中出现的偏差较大的问 题。从而减小测量不确定度。 关键词流量计铂膜探头温度补偿补偿电阻 l、引 言 热式气体质量流量计(TMF)是基于早期热线风速计的基础上发展起来的一种新型气 体流量检测仪表，已广泛应用于航空、航天、能源、医学、汽车工业以及天然气管道运输等 行业。目前，国内已有一些企业从事热式气体质量流量计的研究和应用开发，主要有测量低 型管道气体流量测量的应用中受到限制的缺陷，目前一般只用于中小管道的气体流量测量。 基于MEMS技术制造的微通道热式探头用于气体流量的测量，具有体积小、响应速度 快等特点，大量应用在汽车电喷系统进气流量等需要快速响应场合的气体流量测量¨。1。但 本不掌握在我们手中。我们在研究微型铂膜探头性能的基础上，设计了一种基于热传递的铂 膜气体流量计MJ，成功地应用于汽车电喷系统进气流量的测量。并在单点热式气体流量计 的基础上，针对目前大口径或不规则管道气体质量流量测量中存在的单点测量精确度不高、 速度面积法测量困难等问题，提出了基于多点测量的热式气体质量流量测试方法o 2，热式空气流量传感器原理 热式空气流量传感器建立在热平衡原理基础上，目前主要有热线和热膜两种形式。热线 是在陶瓷基片上沉积金属(如铂)形成的薄膜电阻。热线式和热膜式的工作原理相同，图1 所示为热线式空气流量传感器的结构与工作原理图。在空气通道中放置热线(铂丝或钨丝) RH，当空气通过流量传感器时，热线被冷却，热线温度下降，其电阻值随之减小，电桥失 去平衡。此时集成运算放大器会自动增加供给热线的电流田，使热线恢复原来的温度和电 205 r，热绂电阻并4：变化，而是I。作在恒 阻值，直至电桥恢复、卜衡奠环h枉卒’t流i蕾变fgil 温方式 ’‘j它仃变化的趋势时．通过运算放火器的反馈作州使供给热线的电流lH发’IL变化 |而保持探头温度ffU珏【J的恒定 根据热f新躲Iql，电流流过热线所产牛的热趋}应潋等r流体流)立热线所带止的热：}}闻 乃热线产’M4热l}}取决r焦}f定律，而流体所{降龙的热l待取决{。热耗散规律，所以柯： Ⅳ=H f l j 罔l 热线式窀‘i流量订电路帐埋剖 2集成运算放火器3、输m信号 l进+L R，、R，冗。l钽阻R一补偿fgljlt片Ⅳ一热线电阻 对r有限长的热线，在稳定情搅F的热耗散应NX,t流引起的热耗散仉、热线对支杆的 热,re导引起的热耗散和热线热辐射引起的热耗散仉之和： ll=q。+1)k+QH l 21 ml：久多数场俞，热线与周陆I的流体温度差一般卅、于300‘0，辐射热仉可以忽略；且 热线的长细比很火的睛况F，热线对支架的热传导Q。呵_，相比可以忽略／f-：if．所以热线 的热耗散主耍魁由对流引起的 L V 对_!『^嘲桂形的热线，},qx．J流产生的热传递火系式可以明确地丧，fiKing列