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??DY-4四探针测试仪 ?SDY-4型四探针测试仪 产品概述 ?? SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ-710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，并能实现晶片厚度自行修正，打印出全部预置和测量、计算数据。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。SDY4四探针测试仪 本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。 技术指标1 测量范围: 电 阻 率: 0.001-200Ω.cm(可扩展);　　　　　? 方块电阻: 0.01-2000Ω/口(可扩展);2 可测晶片直径(最大):100mm(配J-2B型手动测试台)　　　　　　　　　　 200mm(配J-51型手动测试台)3 恒流源:电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调.误差±0.3%4 数字电压表:???????????? 量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV???????????? 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、小数点、超量程自动显示。???????????? 输入阻抗1000MΩ; 精度:±0.1%.5 最大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.6 四探针探头:???????????? 间距:1±0.01mm;针间绝缘电阻≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%???????????? 探针压力:TZT-9A/9B: 12-16牛顿(总力) TZT-9C/9D 5-8 牛顿(总力)7 整机不确定度:(用硅标样片测试)≤5% (0.01-180Ω.cm)8 外形尺寸:电气主机:360mm×320mm×100mm；数据处理器：300mm×210mm×105mm9 数据处理器功能:?????? A 键盘控制测量取数,自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示出平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正;?????? B 键盘控制数据处理,运算电阻率平均值和电阻率值最大百分变化及平均百分变化;????? ?C 键盘控制打印全部测量数据.测量条件、最大电阻率值、最小电阻率值、电阻率最大百分变化及平均百分变化。10 仪器重量：电气主机：约4kg；测试台：约10kg，数据处理器：约2.5kg11 测试环境：温度23±2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射。 ??XJ4822/B型CRT读出半导体管特性图示仪 XJ4822/B型CRT读出半导体管特性图示仪 产品概述 ???????? XJ4822 CRT读出图示仪，外观新颖，技术先进，操作方便，能对各类二极管、三极管、场效应管等静态参数测试。光标测量数字读出给用户带来方便，二簇曲线显示对器件各类参数配对尤为方便。测试大功率器件时，可采用单次方式。配3KV测试台后Vc可达3KV。·光标测量，字符读出，使各种静态参数包装β、Gm均可光标测量字符读出。·双族显示用于对各种参数配对·最大测试功率近100W·阶梯电压±10V＋△VB±5V内阻低特别适宜大功VMOS管测试·最大VC达3000V（选购件）·过流报警断电?主要技术指标 集电极电流范围 （IC）10μA/div～1A/div 按1、2、5进制分16档二极管电流范围 （IR）0.2μA/div～5μA/div 按1、2、5进制分5档???????????????????? IC、IR倍率 ×0.1集电极电压范围 （VC）0.05V/div～50V/div 按1、2、5进制分10档基 极 电压范围 （VB）0.05V/div～1V/div 按1、2、5进制分5档 二极管电压范围 （VR）100V/div～500V/div 按1、2、5进制分3档 阶 梯 电流范围 （IB）0.02μA/step～50mA/step 按1、2、5进制分16档阶 梯 电压范围 （VB）0.05V/step～1V/step 按1、2、5进制分5档 集电极电压档级? 0～10V、0～50V、0～100V、0～500V每档连续可调 功 耗 限止电阻? 0～500k 按1、2、5进制分11档±10% CRT字 符 读 出?? 垂直Y：显示A/div (IC、IR)水??? 平??? X：? 显示A/div (VC、V