化学传感器调查研究08.pptVIP

3.3 电容式湿敏传感器 电容式湿敏元件的市场分析 电容式湿敏元件的优点在于响应速度快、体积小、线性度好、较稳定，国外有些产品还具备高温工作性能。但是达到上述性能的产品多为国外名牌，价格都较昂贵。市场上出售的一些电容式湿敏元件低价产品，往往达不到上述水平，线性度、一致性和重复性都不甚理想，30[%]RH以下，80[%]RH以上感湿段变形严重。有些产品采用单片机补偿修正，使湿度出现阶跃性的跳跃，使精度降低，出现一致性差、线性差的缺点。无论高档次或低档次的电容式湿敏元件，长期稳定性都不理想，多数长期使用漂移严重，湿敏电容容值变化为pF级，1[%]RH的变化不足0.5pF，容值的漂移改变往往引起几十RH[%]的误差，大多数电容式湿敏元件不具备40℃以上温度下工作的性能，往往失效和损坏。 电容式湿敏元件的市场分析 电容式湿敏元件抗腐蚀能力也较欠缺，往往对环境的洁净度要求较高，有的产品还存在光照失效、静电失效等现象，金属氧化物为陶瓷湿敏电阻，具有湿敏电容相同的优点，但尘埃环境下，陶瓷细孔被封堵元件就会失效，往往采用通电除尘的方法来处理，但效果不够理想，且在易燃易爆环境下不能使用，氧化铝感湿材料无法克服其表面结构天然老化的弱点，阻抗不稳定，金属氧物陶瓷湿敏电阻也同样存在长期稳定性差的弱点。 3.4 其他类型湿敏传感器 热敏电阻式湿敏传感器 （1）原理及绝对湿度测量 下图所