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XRD实验条件和数据处理方法对衍射峰位、强度和半高宽的影响.pdf
XRO实验条件和数据处理方法对衍射峰位、强度和半高宽的影响
杨传铮 汪保国 张 建
(中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050)
1.扫描速度对衍射峰位、强度和半高宽的影响
用标准51为试样,在保持X射线光学系统参数不变,即DS红。55=1。RS=0.15丽的
情况下,对同一样品仅改变e/20扫描速度(Ze。/min),用拟合(Fitallpeaks或Refine)
法峰获得的数据列入表 1,从表1的数据可知,无论是主要衍射线的峰位,还是半高宽随扫
描速度的增加均成无规律变化,对标准值的最大绝对偏离 (或误差)大多发生在大扫描速度
时,这表明无论是对20还是半高宽氏2精确测量,扫描速度过快都是有害的。
表12e扫描速度对衍射线峰位、半高宽F(WHM)和衍射强度的影响,标样51
20(01 111(0) 220护) 111 220 1111
min) 标准 20 △20 标准 6 △20 rWHM()0 峰强 峰面积
0.5 28.44 28.421 0.021 47.302 47一271 0.031 0.103 0.087 27868 193242
1.0 2 28.418 0.024 47.272 0.030 0.103 0.084 14104 96615
2.0 28.418 0.024 47,272 0.030 0.130 0.084 7114 48521
4.0 28.418 0.024 47.267 0,035 0.140 0,086 3505 24005
6.0 28415 0.027 47.269 0.033 0.097 0.081 2425 16246
8.0 28.412 0.030 47.269 0.033 0.098 0.080 1834 12594
10.0 28.420 0.022 47,267 0.035 0.100 0.079 1386 9181
13,0 28.412 0.030 47.267 0.035 0.90 1 0.085 1179 7711
16.0 28.414 0.027 47
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