一种适用于微传感器读出电路的低噪声_低失调斩波放大器_尹韬.pdfVIP

第 28 卷 　第 5 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 28 　No . 5 2007 年 5 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS May ,2007 一种适用于微传感器读出电路的低噪声 、低失调 斩波放大器 尹 　韬1 ,2 　杨海钢1 , 　刘 　珂1 ,2 ( 1 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室 , 北京 　100080) (2 中国科学院研究生院, 北京 　100049) 摘要 : 提出一种适合微传感器读出电路的高精度折叠共源共栅放大器. 基于斩波技术和动态元件匹配技术 , 降低 了折叠共源共栅放大器的噪声和失调 ,采用低阻节点斩波的方法和低压共源共栅电流镜扩大了放大器可处理的输 μ 入信号带宽和输出电压摆幅. 芯片在 035 m 2 P4M CM OS 工艺下设计并流片 , 测试表明在 33V 的典型电源电压 μ 和 100k Hz 的斩波频率下 ,斩波放大器具有小于 937 V 的输入等效失调电压典型值 , 196n V / Hz 的输入等效噪 声 ,开环增益达 839dB ,单位增益带宽为 10M Hz . 关键词 : 斩波放大器; 低噪声; 低失调; 微传感器 EEACC : 1290 ; 2570D 中图分类号 : TN 722 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2007) 批量 CMO S 电路中使用较少 ; 自动置零技术是一种 1 　引言 采样技术 ,通过对低频噪声 、失调进行采样 ,然后在 运算放大器的输入或输出端 ,将它们从信号的瞬间 现代 CM OS 集成电路工艺越来越朝着提高数 值中减去 ,实现对失调和 1/ f 噪声的降低 , 由于其 字电路性能的方向发展 , 这使得数字环境中的模拟 对宽带白噪声是一种欠采样过程 ,会造成 白噪声的 信号处理不得不面对电源电压降低以及 1/ f 噪声电 混叠 ,即在降低 1/ f 噪声的同时又会增大低频端的 μ 压 、失调电压增加所带来的挑战. 以典型的 035 m 白噪声贡献 ,因此 自动置零技术更适用于开关电容 CMO S 工艺为例 ,其工作电压已经降低至 33V ,而 等离散信号电路[2 ] ;斩波技术是一种连续时间方法 , 典型尺寸 MO S 管的 1/ f 噪声拐角频率一般大于 它采用调制和解调的方法 ,将失调和 1/ f 噪声调制 100k Hz ,输入失调电压也在 mV 量级. 随着集成电 到高频端 ,并用低通滤波器滤除 ,而有用信号经过调 路工艺的迅速发展 ,传感技术的一个重要发展趋势 制后 ,又解调至基带 ,这种技术没有白噪声混叠的缺 是实现传感器读出电路的集成化 ,甚至实现微传感 点 ,因此非常适合在连续时间微传感器读出电路中 器与传感器读出电路的单芯片集成. 对微传感器来 使用 , 目前斩波技术已经广泛应用于惯性微传感器 说 , 由于其输出信号主要处在低频端 ,且信号幅度很 ( ) 加速度计 、陀螺仪 、热电式红外传感器 、可植入式