基于ZEMAX的激光高斯光束匀化设计.pdf

第 1期 电 光 系 统 No．1 2009年3月 ElectronicandElectro—opticalSystems Mar．20o9 基于ZEMAX的激光高斯光束匀化设计 李卫森，吴登喜，董光焰，沈严 中国电子科技集团公司第二十七研究所，郑州450015 摘 要：文章基于ZEMAX光学软件设计一套激光光束匀化光学系统，用于将激光高斯光束转化为平顶光 束。从理论分析人手，在ZEMAX软件环境下，编写 Macro命令，通过系统优化，完成出射激光束光强分布 均匀化，满足系统设计要求。 关键词：激光光学；高斯光束；光束匀化；光束整形 中图分类号：TN243 文献标识码 ：A HomogenizationDesigninGaussianLaserBeam TransformationBasedonZEMAX LIWei—sen，WU Deng—xi，DONG Guang—yan，SHENYan f e27 ResearchInstituteofChinaElectronicsTechnology GroupCorporation．Zhengzhou450015，Cina ) Abstract：BasedonZemaxsoftware，anopticalsystem forhomogenizaionoflaserbeam isdesigned，whichisable totransform theGaussianlaser—typebeamsintoflat—topones．UndertheZemaxdevelopingenvironment，the Macroinstructionsarewrittenstartingwiht analysisofthebeam shapinghteory．Byoptimizinghtesystem ，ho— mogenizaionofhteoutputbeam intensitydistributionisachievedasrequired． Keywords：LaserOptics；GanssianBeam ；Beam Homogenization；Beam Shaping P为光束中心光强，∞是激光功率下降到 l／e 1 引言 处的光束宽度，如图 1所示。 激光光束整形光学系统用于将入射激光束转 换为满足既定要求的光强分布的光束，如在激光 雷达 、激光通信 、激光照明以及激光表面热处理中 的光束传输控制等诸多领域，但 目前大多整形方 案所需光学系统复杂且加工难度大，效果欠佳。 二元光学的兴起，使光束整形变得相对简单，但是 受加工水平、使用环境条件的影响，二元光学元件 图 1 激光 光束整形光学 系统不惹 图 的像差和衍射效率仍不尽人意。本文基于光线追 对于式(1)，令 ：二 ， RdR：一 2d ， 迹原理系统具有结构简单、装调便利、环境适应好 等优点，对整形用的非球面透镜进行优化分析 ，实 代人式(1)，得， 现激光出射光强均匀分布，在工程应用中具有一 ()： [1一。．h2几] (2) 定的实用价值 。 输 出平顶光束光斑半径为S，则， 2 激光光束整形的理论分析 B(S)=~rS ·H (3)