基于针法的平板偏振膜设计.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， ３０ ２ Ｖｏｌ．３０ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１０ ２ 犉犲犫狉狌犪狉 ２０１０ 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 狔 文章编号： （ ） ０２５３２２３９２０１００２０５９００７ 　　 基于针法的平板偏振膜设计 ， １２ １ １ １ １ 陈乃波 吴永刚 凌磊婕 焦宏飞 王振华 　 　 　 　 １ ２ （同济大学物理系，上海 ２０００９２；浙江工业大学之江学院理学系，浙江 杭州 ３１００２４） 摘要 利用针（ ）法优化技术，分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系，设计得到了平板偏振膜。 ｎｅｅｄｌｅ 　 当入射角为 时，在中心波长 附近不小于 的带宽范围内，偏振膜的 光反射率 ，光反射 ５６° １０５３ｎｍ ２０ｎｍ 犚 ２％ ｓ ｐ ｐ＜ 率 ，且消光比（ ／ ） 。角度特性分析结果表明，在入射角由 增大至 的过程中，两偏振膜 犚 ９９．５％ 犜 犜 ２００ ５３° ５９° ｓ＞ ｐ ｓ ＞ 的光学性能均满足设计要求，但偏振带却向短波长方向发生了移动，且带宽增大。根据蒙特卡罗容差分析，在各膜 层膜厚误差独立的监控方式下，要保证成品率高于 ９０％，则两偏振膜的最大容许膜厚标准偏差分别为１．２０％和 １．３５％。 关键词 薄膜光学；平板偏振膜设计；针法；容差分析 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犃犗０５９０ 　 　　　 　 　　　 犜犺犻狀犉犻犾犿犘狅犾犪狉犻狕犲狉狊犇犲狊犻狀犲犱犫 狋犺犲犖犲犲犱犾犲犕犲狋犺狅犱 犵 狔 ， １２ １ １ １ １ 犆犺犲狀犖犪犻犫狅 犠狌犢狅狀 犪狀 犔犻狀犔犲犻犻犲 犑犻犪狅犎狅狀犳犲犻 犠犪狀 犣犺犲狀犺狌犪 　 犵犵 犵　 犼 　 犵 　 犵 １