光电检测技术及应用 教学配套课件 徐熙平 第8章 外形尺寸检测.pdfVIP

《光电检测技术及应用》 第8章 外形尺寸检测 任课教师：徐熙平 2013年6 月6 日星期四 目 录 8.1 概述 8.2 模拟变换检测法 8.3 光电扫描检测法 光学扫描法、电扫描法 8.4 CCD自扫描检测法 第8章 外形尺寸检测 一、概述 先将长度量通过光学元件变成光学量（光通量或光脉冲 数），通过光电器件将光学量变成电量，这个反映被测量（ 或误差）的电量通过电子技术实现自动测量和控制。 1、模拟量变换法 通过光通量的变化或光通量的有无来反映零件尺寸及公 差大小。影响测量准确度的主要因素主要有光电器件的灵敏 度和噪声（背景噪声、器件噪声和放大器噪声）。另外对光 源的稳定性也要求很高，但由于这种方法简单，使用方便， 在精确度要求不高的情况下得到应用。 2、模数转换法 用离散量来表示。检测精度高、易于数字化和智能化 。 第8章 外形尺寸检测 二、模拟变换检测法 光通量测量法 经光学系统得到一束平行光，投射到被测工件上。其中 一部分光通量被工件遮挡，而另一部分照射到光电器件上， 工件遮挡光通量的多少取决于被测工件的尺寸大小，所以光 电器件输出的电流是被测工件尺寸的函数。光电器件输出的 电信号进行放大，然后进行信号处理，最后通过控制机构。 第8章 外形尺寸检测 二、模拟变换检测法 活塞环检测原理 1—被测圆环 2—样板 3—光源 4—光学透镜 5—齿形调制盘 6—光电器件 从光源发出的光束经样板和被测圆环之间的空隙而射到 光电器件上，空隙的大小由被测圆环的尺寸所决定。射到光 电器件上的光通量的大小会随着被测圆环尺寸而改变，因而 改变了光电流的强度，人们通过光电流大小便可确定圆环尺 寸和误差大小。 第8章 外形尺寸检测 二、模拟变换检测法 格栅向 上移动时通 光面积增大 ，向下移动 通光面积减 小，光电器 件输出的光 电流也随之 多狭缝检测原理 变化，将光电流进行放大等电路处理，不仅能测量值的大 小，而且能判断出误差是正差还是负差，经分选后分出成 品和废品。 第8章 外形尺寸检测 三、光电扫描检测法 1、光学扫描法 激光扫描检测系统原理图 第8章 外形尺寸检测