国内外半导体硅材料与技术的发展近况.pdfVIP

TechnologicalFrontier 技术前沿 国内外半导体硅材料与技术的发展近况 中国电子材料行业协会半导体材料分会 朱黎辉* 半导体硅材料在国民经济中的作用与地位 是以煤为主的,但我国的煤只能开采不到 年了;且随着现 1 50 1.1 半导体硅材料在电子信息技术、产业中的应用 代化建设的进程,我国已成为世界上第二大石油消耗国和输 人类社会已进入了信息社会,进入了网络文明时代。在全 入国,能源压力将日趋严重,能源安全问题早已提到议事日程 球信息化和经济全球化的进程中,以通信业、计算机业、网络 上,因此大力加速发展可再生能源硅光伏产业及其基础材料- 业、家电业为代表的信息技术和信息产业获得了迅猛发展。其 高纯半导体硅(多晶、单晶片)材料已成为当务之急。 中,信息产业早已成为每个发达国家的第一大产业。 与建硅集成电路生产线相比,建设硅太阳能电池生产线 进入 世纪以来,我国的信息产业也已快速超过传统产 其投资强度与技术难度的门槛都较低,比较合乎我国的国情, 21 业而成为国民经济中的第一大产业和对外出口创汇的支柱产 加之其国际市场十分看好,其利润空间较大,引发了我国不少 业。从2003年开始我国的电子信息产业规模已超过日本而跃 地区与企业的巨大兴趣。因此可以预测,硅光伏产业的发展在 居世界第二位,仅排在美国之后。到2006年,我国电子信息产 我国将有着极好的前景,对我国半导体硅材料,尤其是对高纯 业销售总值达4.75万亿元,同比增长24%,并占全国总出口 多晶硅的研制生产带来了巨大的市场空间,极好的机遇和严 值的36%。 峻的挑战。 半导体工业(尤其是集成电路工业)是信息产业的基础 但是,我国目前多晶硅的严重短缺以及近三年来销售价 和核心,是国民经济现代化与信息化建设的先导与支柱产业, 格十几倍的暴涨所造成的各类硅片供应极度紧张状态已经成 是改造和提升传统产业及众多高新技术的核心技术。而半导 为我国发展半导体工业、电子信息产业及新能源硅光伏产业 体硅(单晶)材料则是半导体工业的最重要的主体功能材料, 的主要瓶颈,是目前我国电子工业中最大的结构性矛盾。半导 是第一大功能电子材料,至今全球硅材料的使用仍占半导体 体高纯多晶硅材料已成为一种战略性的物资。 材料总量的 以上,而且国际集成电路( )芯片及各类半 国际半导体硅材料的发展概况 95% IC 2 导体器件的95%以上也是用硅片制造的。硅材料、硅器件和硅 2.1 国际十大多晶硅生产厂家的简况 集成电路的发展与应用水平早已成为一个国家的国力、国防、 迄今为止,国际上生产高纯多晶硅的主要方法仍然以“改 国民经济现代化及人民生活水平的重要标志。 良西门子法———三氯氢硅氢还原法”(约占全球总产量的 鉴于其在一个独立国家中的这种战略地位,因此多年来,各 80%)和硅烷热分解法(占总量的约20%)为主。 发达国家和地区都投以巨资发展硅材料、硅器件和硅集成电路。 据 年 月 日出版的日文《稀有金属新闻》报道,国外多 2006 3 1 半导体硅材料在新能源、可再生能源、绿色能源硅光伏产 晶硅十个主要生产厂家的生产能力及发展预测如表 所示,对未来几 1.2 1 业中的应用 年世界主要多晶硅厂家在产能与产品结构方面的预测如表 所示, 2 随着地球上矿物能源的加速消耗所造成的 “能源危机” “世界未来多晶硅生产能力和市场需求的统计、预测如表 所示。