综述粗糙表面形貌测量技术的现状与发展.docVIP

粗糙表面形貌测量技术的现状与发展综述 郝帅 摘要:表面粗糙度是机械加工过程中描述表面微观形貌非常重要的技术指标之一，主要是指加工表面上具有较小间距和峰谷所组成的微观几何形状特性。它主要是由所采用的加工方法形成的，如在切削过程中工件加工表面上刀具痕迹以及切削撕裂时的材料塑性变形等。表面粗糙度的测量技术是现代紧密测试计量技术的一个重要组成部分。 关键词：测量技术 现状和常见问题 表面粗糙度高精度检测及其发展动向 引言 工件表面质量的好坏直接影响其使用寿命和使用性能。 随着科学技术的进步和社会的发展，人们对于机械产品表面质量的要求越来越高。表面粗糙度是评价工件表面质量的一个重要指标，国内外很多学者在表面粗糙度检测方面做了大量研究工作。目前测量表面粗糙度的主要方法有：接触式测量和非接触式测量。1.表面粗糙度测量技术 表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌最常用的参数，它反映的是机械表面的微观几何形状误差，随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也得到快速会展，特别是70年代中后期，随着微型计算机应用的逐步普及和先代光学技术的发展，使粗糙度测量技术在机械加工 光学加工 电子加工等精密加工中显得更加重要。 加工工件表面粗糙度是指工件表面的加工痕迹的平整和光滑程度，它是加工零件的重要特性指标之。在人们开始对加工件表面质