传感器第4版课件教学配套课件唐文彦第06章压电式传感器.pdfVIP

第六章压电式传感器 哈尔滨工业大学 第六章压电式传感器 第六章 压电式传感器 压电式传感器的原理是基于某些晶体材 料的压电效应，是一种典型的有源传感器 （或发电型传感器）。 压电式传感器具有响应频带宽，灵敏度 高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量 轻等优点。 第六章压电式传感器 哈尔滨工业大学 第六章压电式传感器 §6-1 压电效应 某些电介质物质，在沿一定方向上受到外力的作用 而变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生 电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电的状态，这种 将机械能转变为电能的现象，称为“顺压电效应” 。 相反，在电介质的极化方向上施加电场，它会产生 机械变形，当去掉外加电场时，电介质的变形随之消 失。这种将电能转换为机构能的现象，称为“逆压电效 应” 。 具有压电效应的电介物质称为压电材料。具有压电 效应的物质很多，如天然形成的石英晶体，人工制造的 压电陶瓷、钛酸钡、锆钛酸铅等。 第六章压电式传感器 哈尔滨工业大学 第六章压电式传感器 一、石英晶体的压电效应 石英晶体有天然和人造石英单晶 两种。 石英晶体属六方晶系，是一个正 六面体，有右旋和左旋石英晶体之 分，在晶体学中用三根互相垂直的 轴Z 、X 、Y 表示它的坐标。 （讲义P154 ） 第六章压电式传感器 哈尔滨工业大学 第六章压电式传感器 石英晶体 的晶轴 Z 轴为光轴（中性轴），它是晶体的对称轴，光线沿Z轴通过 晶体不产生双折射现象，因而它的贡献是作为基准轴。 X 轴为电轴（垂直于光轴），该轴压电效应最显著，它通过正 六棱柱相对的两个棱线且垂直于光轴Z，显然X轴共有三个。 Y 轴为机械轴（力轴），显然也有三个，它垂直于两个相对的 表面，在此轴上加力产生的变形最大。 第六章压电式传感器 哈尔滨工业大学 第六章压电式传感器 X X X Fx − − − − + + + + − Fy − Fy − + p 2 + + p 2 + Y Y + p 2 + Y p 3 p 3 p 3 − p 1 − − p 1 − − p 1 −