传感器第4版课件教学配套课件唐文彦第12章半导体式物性传感器.pdfVIP

传感器课程电子教案 哈尔滨工业大学光电信息与检测技术研究所 lihuipeng@.hit.edu.cn 第十二章 半导体式物性传感器  1970年，荷兰科学家Bergveld研制出了对 氢离子响应的离子敏感场效应晶体管，标志 着离子敏半导体传感器的诞生。  由于电子技术的飞速发展，以半导体传感器 为代表的各种固态传感器相继问世。这类传 感器主要是以半导体为敏感材料，在各种物 理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度 或分布的变化，通过检测这些物理特性的变 化，即可反映被测参数值。 与各种结构型传感器相比，具有如下特点：  1）由于传感器原理是基于物理变化的，因 而没有相对运动部件，可以做到结构简单， 微型化。  2）灵敏度高，动态性能好，输出为电物理 量。　 3）采用半导体为敏感材料容易实现传感器 集成化和智能化。　 4）功耗低，安全可靠。 半导体传感器也存在以下一些缺点：  1）线性范围窄，在精度要求高的场合应采用 线性化补偿电路。　  2）与所有半导体元件一样，输出特性易受温 度影响而漂移，所以应采用补偿措施。  3）性能参数离散性大。 虽然存在上述问题，但半导体传感器仍 是目前传感器发展的重要方向，尤其是大规 模集成电路技术的不断发展，半导体传感器 的技术也日臻完善。　　 本章主要介绍气敏、湿敏、磁敏、色敏和 离子敏半导体式传感器。　 第一节 气敏传感器　 第二节 湿敏传感器　 第三节 磁敏传感器 第四节 色敏传感器　 第五节 离子敏传感器 第一节 气敏传感器 所谓半导体气敏传感器，是利用半导体 气敏元件同气体接触，造成半导体性质变 化，借此来检测特定气体的成分或者测量其 浓度的传感器的总称。　 半导体气敏传感器的种类如表 主要物理特性 传感器举例 工作温度 典型被测气体 电 表面控制型 氧化银、氧化 室温～450℃ 可燃性气体 锌 阻 式 体控制型 氧化钛、氧化 室温～700℃ 酒精、氧气 镁、氧化钴 非 表面电位 氧化银 室温 硫醇 电 二极管整流特性 铂/硫化镉、铂 室温～200℃ 氢气、一氧化碳、 阻 /氧化钛 酒精 式 晶体管特性 铂栅MOS场效 室温～150℃ 氢气、硫化氢 应晶体管 一、气敏半导体材料的导电机理　 图a为烧结体N型半 导瓷的模型。它是多晶 体，晶粒间界有较高的 电阻，晶粒内部电阻较 低。图中分别以空白部 分和黑点部分示意表 示。导电通路的等效电 路如图b所示。 图中Rn为颈部等效电阻，Rb为晶粒的等效体电 阻，Rs为晶粒的等效表面电阻。其中Rb 的阻值较低， 它不受吸附气体影响。Rs和Rn则受吸附气体所控制， 且Rs Rb，Rn Rb 。由此可见，半导体气敏电 阻的阻值将随吸附气体的数量和种类而改变。氧化型 气体吸附到N型半导体上，将使载流子减少，从而使材 料的电阻率增大。还原型气体吸附到N型半导体上，将 使载流子增多，材料电阻率下降。根据这一特性，就 可以从阻值变化的情况得知吸附气体的种类和浓度。 二、电阻型气敏器件　 电阻型气敏器件在目前使用的比较广 泛。按其结构，可分为烧结型、薄膜型和厚 膜型三种 。 1. 烧结型　 这种器件一般分为内热式和旁热式两种结构,如图 1、2、4、5— 电极 3—SnO2烧结体 1、2、4、5— 电极 3—加热器