传感器与检测技术课件教学配套课件胡向东现代传感技术5讲.pdfVIP

第三节 CCD器件  线阵和面阵；单沟道和双沟道。 一、典型的CCD结构 1.单沟道线阵CCD结构 光敏元、转移栅和移位寄存器构成。 结构见下图3-12所示 工作时序如下图所示 ΦD φ t Φ 控制收集光生电荷； D φ控制转移到移位寄存器； t φ φ和φ 控制移位输出。 1 ， 2 3 由于CCD存在不完全转移，所以最大分辨单 元数并不于实际相元数相同。 一般以读出移位寄存器的转移损失率50% 为极限。 此结构适合光敏元较少的CCD. 2.双沟道线阵CCD  有两列移位寄存器，分奇数和偶数。  下图为两相双沟道CCD。 3.帧转移CCD摄像器件  FTCCD包含三部分：光敏区、暂存区和 转移区。 M个沟道； N个光敏元/沟道 类似于电视机的 行扫原理 4.行间转移结构CCD摄像器件  如图3-15二维两相面阵. 比较:分辨率差;拖影效应小。 二、典型CCD器件及其驱动 产品像元数128~5000不等。 以TCD142D为例。两相线阵2048像元。 光敏区像元=2048+62 （哑元）=2110  哑元用于检测暗电流。 像元中心间距14µm. 驱动电路: ΦRS: 2MHZ;占空比1:3. Φ1 : 1MHZ;占空比1:1 Φ : T 1061µs SH SH 三、CCD器件的选择 根据主要指标： 1.根据采样定理,若已知图像的最大空间频率 k(线数/mm),则抽样频率2k. 例:k=40线/mm;则抽样频率80线/mm 即抽样尺寸=1/80mm=12.5µm(分辨率) 2.动态特性保证转换后的图像不失真. 若CCD的动态响应截止频率为f,则所测量的图 像光强随时间变化的频率不能大于2f. 第四节 CCD在测量中的应用  是光、机、电和计算机结合的高新技术； 非接触测量；常用于在线检测尺寸、位 移、速度、定位和自动调焦等。 一、尺寸测量 成熟技术，测量线径、轴的直径等。 以荧光灯玻璃管的直径和壁厚测量为例。 1.测量原理 原理图如下: 物镜放大倍数β ;CCD像元尺寸为t; 上壁厚d1,脉冲数n1;下壁厚d2,脉冲数n2; 外径D,脉冲数N;则有: d1=n1t/ β; d2=n2t/ β;D=Nt/ β (3-18)  实际中,平均外径12mm;壁厚1.2mm; 测量精度外径± 0.1mm;壁厚± 0.05mm 若β=0.8;则成像9.6mm;外径和壁厚的测量精 度在像面上为± 0.08和± 0.04mm. 为此,CCD的光敏像元空间尺寸为 0.04/2=0.02mm. *像元数9.6/0.02=480(个) 2.CCD驱动电路的设计 根据测量要求,选TCD132D型号的CCD 二相,1024像元. 结构如下: 驱动时序如下图 驱动电路如下 3.测量信号的处理  若Φ =1MHZ;则Φ =250KHZ; M CCD T0=64µs;T2= 1024 µs. 要在T3 内提取出测量信息,则必须: T3T2;T1T0. 二、位移的测量（自阅） 三、CCD信号的二值化 把图像和背景作为分离的二值图像对待。 两种方法： 1）对视频信号二值化后再进行数据采集。 2）采集后在计算机内进行二值化处理。 前者硬件电路复杂，速度快； 后者硬件电路简单，速度慢。 要点：找真正代表边界的特征点，确定阈 值。 作业：1.何谓MOS结构