传感器与检测技术课件教学配套课件胡向东现代传感技术15讲.pdfVIP

第四节薄膜传感器的应用 第四节薄膜传感器的应用 一、概述 液晶显示器（LCD ）特点： 优点：功耗低、平面、体轻、无辐射。 缺点：低温特性差（反应时间长）。 反应时间与液晶盒两端电压以及材料的粘 度有关，而二者又与温度有关。 在0度以下，反应时间会大大降低，使显示 迟缓。 最佳解决方法：控制液晶盒的温度恒定。 反应时间与温度的关系： 二、温度的测量 二、温度的测量 控制液晶盒的温度恒定-热加固 测温方法： 选用Pt薄膜热电阻为传感器，其特点： 1）体积小 2 ）动态响应好，精度高，稳定性好。 测量电路采用电流放大型电桥电路。 若R1=R2=R3=R ；电阻相对变化率δ=△R/R0 则：Uo=RfU δ/2R （δ＜＜1，R ＜＜Rf ） （8-34 ） Pt100的参数见下表 Pt100的参数见下表 在(-20~20℃) 以外, δ较大,则: 非线性测量误差: 2 Rf U δ △Uo= (8-35) 2R( δ+2) e1=△Uo/Uo ×100%= δ/( δ+2) ×100% 例:R=100; Rf=1k; U=1.5V;则: 在(-40~40℃) 内,非线性误差小于0.07V. 实际系统中,根据式8-34计算结果列表,存在 计算机内存中,根据测量的结果Uo查表得 到温度值. 三、数据融合 三、数据融合 测量结果具有等精度的正态分布特性。 一般的提高测量结果准确性的方法： 1）中值滤波 2 ）平均值滤波 3 ）递推滤波 这里介绍基于多传感器测量的算术平均值 与递推估计的数据融合方法。 设6支传感器（S1~S6 ），测量温度对应 的电压值为U1~U6 。 分为两组：1组：U1，U2，U3 平均值Ū1= （U1+U2+U3 ）/3 （8- 37 ） 2组：U4，U5，U6 平均值Ū2= （U4+U5+U6 ）/3 （8- 38 ） 则各组的均方根误差分别为σ1和σ2，见 书中式8-39，8-40 。 测量结果的数据融合值Uo为： σ22 σ12 Uo= Ū1 + Ū2 （8-41 ） 2 2 2 2 1 + σ2 σ1 + σ2 σ 基于上述数据融合的测量结果，可达到较 精确的测量结果。 结合控制理论（如PID、模糊控制），可 以对液晶屏的温度进行很好的控制。 控制结果曲线： 控制结果曲线： 作业：1.薄膜传感器的特点及制造工艺  2.薄膜热传感器种类  3.影响薄膜应变片稳定性的两个 主要因素.  4.影响薄膜气敏传感器特性的两 个主要因素. 第十章新型传感器在几何量测量中的 第十章新型传感器在几何量测量中的 应用 应用 尺寸、面型、位置等。 本章介绍3个例子。 第三节光学表面疵病度的测量 对于光滑表面，疵病是影响质量的重要因 素（如：硅片、光盘、光学元件）。 国家标准：10级。 检测方法分三类： 检测方法分三类： 1）肉眼检测：最常用，但有缺陷。 2 ）散射法：利用疵病自身光散射特性，但 不能很好反映疵病的面积尺寸。 3 ）频普法：利用疵病反向衍射的能量测 量，同样受到疵病深层结构的影响。 这里介绍“斜入射”检测方法，可以很好地 测量疵病的面积。 一、测量原理 一、测量原理