微波ECR+CVD法制备a-Si%3aH膜的氢含量的探究.pdfVIP

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2017-08-17 发布于安徽
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微波ECR+CVD法制备a-Si%3aH膜的氢含量的探究.pdf

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3148 2004 35 ECR CVD a-Si:H* ∗ 100022 MWECR CVD a-Si:H [1] a-Si:H FTIRa-Si:H , 2000cm-1 [2] a-Si:H MWECR CVD MWECR CVD O484.5 A SiH a-Si:H 1001 1 2 (a-Si:H) 2.1 a-Si:HMWECR CVD RF CVD 2.45GHz , a-Si:HMWECR 875 CVD 10-4T CVDMWECR CVD 95 50~200 Si100 300~700W ECR SiH H 150~350 4 2 175~500WECR [1] 10-2~1Pa MWECR CVD 2.2 Xian-Chinetek FTIR 1020 a-Si:H