采用LGS新材料的SAW高温压力微传感器的探究.pdfVIP

采用LGS新材料的SAW高溢压力微传感器研究 Research叫SAW Pressure leghTemperatureMicro-sensor NovaMaterial by LGS (上海她大学僦蠡检测与搜器纛上海20c030)麓I文康喜良儿韩籀张砖伟毒小军 摘耍：刺用截托理论对LG$在双旋转平面内的压力镦感特@-e行了分析。以等离线的形 式给出了LGS在二雉最转警番lll的蜃杰敏感乐敷。缝合演度麓瓤电辐套齄牲，能纯出了适 合压力饽意嚣的韧向范簿，并对致拉角为(0、l静、22。)的切向基片的压力敏感特性 进行了宾瓣研究，验证了谐振频率的竞化与外界压力成线性关皋，且理论结果吻合较好。 最君提虫了需要避一步研究辨蠹客。 差键词：LGS高滠压力传感嚣压力敏感锄向直接键合 Abstract：The characteristicsofLGSindoublerotatedare Im≥ssure-sensitive planeinvestigated the withtheaid cc瞄髓瞄∞临eae of usingpertulbafioiltheory．andpressurepmsented withthe tempemu啦and conlm誓plots．Combined ek荫戎帕鹫cb翻渊coup魂c§翘警d罄畦蜘。the cut啪糟嘶∞sofSAWsubsuatefor bees and foend,and 讲晒m虹propagatioll pressure鼯蛾have tOthesubsUatedefined are by 3-2。X Euler姐gk【o，1504the珥拦翻聊耕∞盥蛐他characteristics veziflmtheshift exlerior invesligamtthroegh亡嚣弘如喊which of穗鞠剃噼蠹畸哟with was the linear results with relatic咀，and pressuregood the翻p口i嘲calnearlyagree theory ones． cuts senstlrSenddvefor Direct Key_∞剁琏：LGSI-Iigh-tempemn舭pressure pressure bonding 1前富 蓬力是过蓑羧裁孛戆黧簧参耋，宅不裁楚—拿影瘸工艺进程、麴瓣串衡、产暴羲蠢释 产量的塞要因素，而耳是一个碲保人身和设备安全的黧耍监控瓣数。磋一个现代化的生产 流程中，藏处可兜备斡压力、温度、液量传黪爨及仪袭。扭之在其它镊城的应用。压力传 感器约占健癣器总糟重静45％，蔗波耀曩广藏豹—类蒋癌器掰。 随着科