磷酸盐激光玻璃聚(CH3)2SiO%2fSiO2防潮膜改性的探究.pdfVIP

i i 0／S 磷酸盐激光玻璃聚(CH3)2S02防潮膜改性研究木 刘瑞军唐永兴朱健强 (高功率激光物理国家实验室中科院上海光学精密机械研究所，上海201800) 具有稳定的疏水结构和很好的防潮性能，膜层强度增加，耐磨擦能力提高，膜层使用期延长。 关键词：溶胶一凝胶有机硅防潮膜激光破坏阈值 环境中使用，空气中的水分会便玻璃表面受潮、发霉，出现斑点，破坏玻璃表面的光学面 形并降低激光的透过率。例如，在我国“神光一II”装置的研制过程中，开始使用未涂膜 璃棒使用期，提高激光器稳定性，必须涂制具有较高激光破坏阈值和良好防潮解功能的保 已经使用多年…；法国里梅尔国家实验室发展了该工艺技术¨1。国内现在也应用KDP晶体 和掺钕磷酸盐激光玻璃的增透膜和保护膜N1 性能，涂制了该膜层的磷酸盐激光玻璃棒状放大器两个端面，完全暴露于空气中，至今己 使用多年。。但该膜层主要是由一维链状聚合物构成的结构，因而机械抗摩擦性能很差，长 期使用后激光破坏阈值有所下降。 用溶胶一凝胶工艺制备的多孔Si02增透膜，主要由三维固体颗粒构成膜层结构，具有 体制得的防潮涂膜液中加入了碱催化的Si02悬胶体，采用旋转涂膜法在掺钕磷酸盐激光玻 璃基板上涂制改性的防潮增透膜。这种有机无机复合的膜层结构，是由一维链状聚合物和 三维固体颗粒组成的复合结构。论文目的是希望通过SiOz颗粒引入结构，在保持膜层高破 坏阈值和良好防潮性能的同时，能够改善膜层强度增强耐磨擦性能。 1实验 用分析纯的正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水，按照1：2：34的摩尔比，在室温下混 和，氢氧化氨做催化剂。溶液在磁力搅拌器连续搅拌6小时以上，溶液密封并在所需反应 温度环境内陈化数日，然后回流24小时除氨，便可制得所需的Si02溶胶。 ℃条件回流，再蒸馏除水。制备得到高浓度的DI∞EOS涂膜预聚体。取适量的预聚体与正丁 醇、乙醇按1：1：4的配比混合，得到所需浓度的DMDEOS防潮涂膜液。 ．．280—． la 部分用于涂膜，涂膜前通过O．22m滤膜过滤掉大颗粒胶团，不同浓度的涂膜液可制得不 同厚度的膜层。剩余的涂膜液密封储存于20℃的环境，对粘度和电导率进行定期跟踪测试。 经无水乙醇清洗后的①35x4mm掺钕磷酸盐玻璃、m35×4mm 晶硅作基片，其中单晶硅基片用于红外光谱测试用。在自制的旋转或提拉涂膜机上涂膜， 膜厚度通过转速或提拉速度控制。干燥后放入烘箱，经不同温度烘烤一定时间后获得样品。 2结果与讨论 2．1涂膜液的粘度和电导率 涂膜液的稳定性是溶胶一凝胶技术制备薄膜的重要因素之一。本文以涂膜液的粘度和 改性涂膜液60天内粘度变化趋势，图2为同样配方涂膜液电导率的变化趋势。由图1、2 可知，涂膜液的粘度和电导率在制备后三天内均有上升趋势，此后在60天内基本不变。 芝 O 7 14 2l蕾葛蛇丹∞∞70 O l蓥 辩5“ 啪 脚O ^11吨IimI／tl hIqtl∞t／h ofsol on time ofsolconductanceon time Fig．1．Dependenceviscosityaging Fig．2．Dependence aging 涂膜液粘度和电导率在初期增大的原因，可能是由于不同液相之间相互扩散所致。刚 混合时，各液相之间还没有相互溶解，醇量较多，所以涂膜液粘度值接近于乙醇粘度值； 随着扩散进行，不同液相之间互相渗透，逐步形成均匀的相，粘度也逐渐增大，最后趋于 相对稳定。在存放期内，不同时间进行了涂膜实验，发现涂膜、热处理条件相同的情况下， 膜层的透射光谱曲线和防潮性能都基本相同，说明改性后的涂膜液在存放期内是稳定的。 2．2膜层结构 基团随着烘烤温度的增加而减少，但在在500℃固化后的膜层中，仍然有极少量一oH基团。 膜层经过热处理后Si-O-Si网络加强，膜层强度增加。